Parametro tecnico | Modalità di misurazione | PSI/VSI/super profondità di campo/campo luminoso |
Campo visivo di misurazione singola (obiettivo 20×) | 500*350μm (cucitura automatica) | |
Regolazione dell'angolo | ±12° manuale | |
Regolazione dell'asse Z | 20mm elettrico + 50mm manuale (meccanismo di regolazione grossolana e fine) | |
Campo di scansione longitudinale | 0-10mm | |
Risoluzione longitudinale | <0.2nm | |
Ripetibilità della misura della rugosità longitudinale | 0.01 nm (modalità PSI) | |
errore di indicazione dell'altezza del gradino | <0.75% (modalità VSI) | |
Risoluzione laterale: @550nm | 0.69 μm (obiettivo 20×) | |
Riflettività del campione misurabile | 0.1%-100% | |
Tempo di misura | <5s (modalità PSI) | |
Funzione di analisi | Funzione di analisi | Misurazione dell'altezza 3D, analisi della rugosità 3D, misurazione delle dimensioni 2D |
Uscita dati 3D | Dati di nuvole di punti 3D, dati di immagini in scala di grigi, report personalizzato |
Ingrandimento obiettivo | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
Apertura numerica | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
Risoluzione ottica @550nm (μm) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
Profondità di messa a fuoco (μm) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
Distanza di lavoro (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
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