Parametro tecnico |
Modalità di misura |
PSI/VSI/super campo di profondità/lampo chiaro |
Campo visivo singolo per la misura (obiettivo 20×) |
500*350μm (stitching automatico) |
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Regolazione dell'angolo |
±12° manuale |
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Regolazione asse Z |
20mm elettrico + 50mm manuale (meccanismo di regolazione grezza e fine) |
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Intervallo di scansione longitudinale |
0-10mm |
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Risoluzione longitudinale |
<0.2nm |
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Ripetibilità della misura di rugosità longitudinale |
0.01nm (modalità PSI) |
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errore di indicazione dell'altezza del gradino misurazione |
<0.75% (modalità VSI) |
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Risoluzione laterale: @550nm |
0.69μm (obiettivo 20×) |
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Riflettività campione misurabile |
0.1%-100% |
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Tempo di misurazione |
<5s (modalità PSI) |
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Funzione di analisi |
Funzione di analisi |
misura 3D dell'altezza, analisi 3D della ruvidezza, misura 2D delle dimensioni |
output dati 3D |
dati di nube di punti 3D, dati di immagine in scala di grigi, rapporto personalizzato |
Ingrandimento obiettivo |
2.5X |
5x |
10X |
20x |
50x |
100x |
Apertura numerica |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
Risoluzione ottica @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
Profondità di fuoco (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
Distanza focale operativa (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
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