היישום הנרחב של מכונות ניקוי פלזמה בתעשיית המוליכים למחצה יִשְׂרָאֵל

היישום של מכונות ניקוי פלזמה בתעשיית המוליכים למחצה הוא נרחב מאוד, המתבטא בעיקר בהיבטים הבאים:

▘ניקוי הפעלת משטח: לניקוי הפעלה משטח של פרוסות, שבבי IC, פרוסות סיליקון מוליכים למחצה וכו', לטכנולוגיית ניקוי פלזמה יש את הפונקציה של הסרת סרטי תחמוצת, חומרים אורגניים, מסכות וכו' ממשטח הפרוסים, טיהור טיפול והפעלת משטח , והימנעות מתופעת הלחמה וירטואלית.

▘עיבוד לאחר אריזה: לאחר השלמת אריזת השבבים, מנקים את חומר האריזה כדי להסיר שאריות ריתוך ומזהמים שנוצרו במהלך תהליך האריזה, תוך הבטחת איכות המוצר. מכונות ניקוי פלזמה יכולות להגיע לטיפול נטול זיהום תוך הימנעות משימוש בממיסים מזיקים שעלולים לפגוע בבריאות האדם.

▘הסרת שאריות photoresist: משמש בתהליך הפוטוליתוגרפיה של ייצור מוליכים למחצה כדי להגדיר את דפוס הציוד. לאחר השלמת הליטוגרפיה, מכונת ניקוי הפלזמה יכולה להסיר במהירות וביסודיות שאריות פוטו-רזיסט כדי להבטיח את דיוק הדפוס ואת אמינות הציוד.

▘טיפול מקדים בתצהיר הסרט: במהלך תהליך השקת הסרט, יש לשמור על פני השטח נקיים מאוד כדי להבטיח את ההידבקות והאחידות של הסרט. ניקוי פלזמה יכול להסיר ביעילות מזהמים ושאריות לפני השקיעה, ובכך לשפר את איכות הסרטים הדקים.

▘שינוי פני השטח: טיפול בפלזמה משמש לא רק לניקוי, אלא יכול גם להשיג שינוי פני השטח. על ידי התאמת הרכב הגז ופרמטרי העיבוד, טכנולוגיית הפלזמה יכולה לשפר את ההידרופיליות או ההידרופוביות של חומרים, לשפר את הביצועים והיציבות של מכשירים.

▘ שפר את ההדבקה: ניתן להשתמש במכונות ניקוי פלזמה לניקוי חומרי אריזה, כגון פלסטיק, קרמיקה וכו', כדי לשפר את ההדבקה והאמינות של חומרי אריזה; שפר את ביצועי ההדבקה בין דבק מוליך גרגרים לרפידות, ביצועי חדירת משחת הלחמה, שפר את מתח ההדבקה של מובילים ושפר את האמינות של מכשירים ארוזים.