MDHS-AL8 8" სრულად ავტომატური ერთგვარი ლითოგრაფიული მანქანა , China MDHS-AL8 8" სრულად ავტომატური ერთგვარი ლითოგრაფიული მანქანა Manufacturers, Suppliers, Factory

პროდუქტის აღწერა

MDHS-AL8 8" სრულად ავტომატური ერთგვარი ლითოგრაფიული მანქანა

1. მუშაობის რეჟიმი: ჩამატების რობოტი ავტომატურად ჩამატებს ვაფერებს A-B (გამოყენებად) ვაფერის კორპუსიდან წინა პოზიციამდე

სამუშაო ბენქი, და კამერის პოზიციონირების ვაფერის და ავტომატული როტაციის სისტემის გამოყენებით, აღწერილი ვაფერის პრე-პოზიციონირება ხდება; ჩატვირთვის რობოტი შემდეგ ჩატვირთავს პრე-პოზიციონირებულ ვაფერებს ალიგნერის სამუშაო ბენქზე. კომპიუტერული სურათის იდენტიფიკაციისა და ავტომატული ალიგნერის სისტემის გამოსავალებით, მასკისა და ვაფერების გრაფიკების ავტომატული ალიგნერი ხდება. შესაძლოა განახორციელოთ ერთი გამოსახატვის პროცესი გრაფიკის ალიგნერის გარეშე. ავტომატული გამოსახატვის სისტემის გამოყენებით, გამოტანილი ვაფერები ავტომატურად ჩაიწვევა C-D (გამოყენებით გამოყენებულ) ვაფერის კორპუსში.
2. გამოსახატვის ზონა: 160 × 160mm;
3. არაერთნაირი გამოსახატვის ინტენსივობა: ≤ 3%;
4. გამოსახატვის ინტენსივობა: 0~≥ 40mw/ cm2 მორგებადი (ლუმინესცენტური კუთხე 2 °);
5. UV ლუმინესცენტური კუთხე: ≤ 3 °;
6. UV სინათლის ცენტრალური სიმაღლე: 365nm;
7. UV სინათლის წყაროს გამოყენების ვადა: ≥ 20000 საათი;
8. განსაკუთრების მუშაობა: 0~≥ 1000um მორგებადი;
9. ალიგნერის ზუსტობა: ≤ ± 1.5 μ M;
10. გამოხატვის ზუსტობა: კონტაქტული გამოხატვა ± 1 μ m. ახლო გამოხატვის გარემო 20 μ M, ღერძის კუთხე 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. გამოხატვის მეთოდები: მაღალი კონტაქტი, წყვილი კონტაქტი და ახლო გამოხატვა;
12. გამოხატვის რეჟიმი: შეგიძლიათ აირჩიოთ ერთჯერადი გამოხატვა ან გადაცვლის გამოხატვა
13. წინადადებითი პოზიციონირების სურათის იდენტიფიკაცია და ავტომატური როტაციის სისტემა (შემოკლებული პოზიციონირების სამუშაო საფეხარით): როტაციის კუთხე Q ≥ ± 180 °, როტაციის ზუსტობა Q ≤ 0.01 °;
14. სურათის იდენტიფიკაცია და ავტომატური გასწორების სისტემა (მათი შემოკლებული UVW გასწორების სამუშაო საფეხარით): გასწორების დიაპაზონი X Y ≥ ± 5mm, როტაციის კუთხე Q ≥ ± 3 ° და მიკროსკოპის ორი ლენზი კონტროლიруება ორი XYZ ელექტრო პლატფორმით.
15. მასკის ზომები: 5 "× 5" და 7" × 7 ";
16. ვაფერის ზომები: 4 "და 6";
17. ზედა და ქვედა ფილმის კორპუსის სამუშაო საფეხარი: ორი სამუშაო საფეხარი;
18. ფეხის ბუფერის ჰავში
19. ჩატვირთვის და გატვირთვის დუალური ხელის რობოტული ხელი: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. ვაფერის რაოდენობა ვაფერულ კორპუსში: განსაზღვრებულია კლიენტის ვაფერულ კორპუსში მყოფი ვაფერების რაოდენობის მიხედვით;
21. პოზიციონირების მაგიდის აღწერა: Z ≥ ± 25mm;
22. გამოსახურთელი დრო: ჩამორთვისადმი 0-დან 999.9 წამამდე;
23. პროდუქციის რитმი: >120 ნაწილი საათში;
24. ძალა: ერთფაზური AC220V 50Hz, ძალის მომწიფება ≤ 3KW;
25. თმის წნევა: ≥ 0.4MPa;
26. ვაკუუმი: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. ზომები: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. წონა: ახლოდან 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

ეს მაशინა შედგება LED ულტრავიოლეტური გამოსახურთელი თავის, სურათის იდენტიფიკაციისა და ავტომატური როტაციის სისტემის, წინადადებით პოზიციონირებული სამუშაო მაგიდის, სურათის მსგავსი იდენტიფიკაციისა და ავტომატური ალიგნირების სისტემების, ალიგნირების მაგიდების, ჩატვირთვის რობოტების, გატვირთვის რობოტების, რეიკებისა და ელექტრონული კონტროლის მოწყობილობების შემდეგ მასალების და ა.შ.

სპეციფიკაცია

1. გამოსახურთელი თავი: ერთი LED ულტრავიოლეტის გამოსახურთელი თავი (365nm);
2. სურათის იდენტიფიკაცია და წინა მისადგენი სტანდარტი:
1) 1 კამერა (1.3 მილიონ პიქსელი)
2) ცენტრული მდებარეობის ფიქსატურა
3) 1 სეტი როტაციული -platform (სერვო-მოტორის გამოყენებით)
4) 1 სეტი მდებარეობის სისტემა
3. სურათის იდენტიფიკაცია და ავტომატური მისადგენი სისტემა:
1) 2 კამერა (5 მილიონ პიქსელის მაღალი კადრის სიხშირე)
2) 2 ლინზა (4x მაღალი გარჩევა)
3) ერთი ინდუსტრიალური კომპიუტერი
4) ერთი კონტროლერი (PLC-მით კონტროლირებული)
5) ერთი სეტი ალიგნერის პლატფორმა (5 ფაზიან სტეპერ მოტორის გამოყენებით)
6) სპორტული სისტემის სეტი
7) ზედა პლატეის მოწყობილობა მოტორის გამოყენებით ჩამორთვისა და ჩამორთვისთვის
7) პროგრამული უზრუნველყოფა LabVIEW Professional Edition-ის უახლეს ვერსიას იყენებს
4. ჩამოღებისა და ჩამოღების მექანიკური ხელი:
1) X Y. Z-ის ავტომატური მოძრაობის მექანიზმი
2) ორი ხელის რობოტული ხელი (ჩამოღებისა და ჩამოღების ხელები)
5. Wafer კასეტის ფიქსირების მექანიზმი:
1) AB არის მომავალი ფილმის კასეტის ფიქსირების მდგომარეობა
2) CD არის მოჭრილი ფილმის კარის დაბითი პოზიციონირება
3) G არის მოჭრილი ფილმის კარის NG პოზიციის დაბითი პოზიციონირება
6. კამერის დაბითი პლატფორმა:
7. ორი ჯგუფი Y.Z ელექტრო რეგულირების მექანიზმი (სერვო-მოტორების მიერ მართვის)
8. რეკვი და ელექტრონული კონტროლის კონსოლი:
1) 1 ინდუსტრიული კომპიუტერი
2) ერთი ჯგუფი PLC;
3) ერთი ჯგუფი ელექტრომაგნიტური ვალვები და მართვის სისტემა
4) ერთი ჯგუფი ციფრული პნევმატიკური იнструმენტები
5) ერთი ჯგუფი მართვის კონსოლი
8. დამატებითი აპარატურა:
1) ტრაქეალური: 15 მეტრი
2) 2 სოლენოიდის ვალვი
3) ვაკუუმური გამოყოფი: 1 ერთეული
9. ტექნიკური მონაცემები:
1) ერთი მომხმარებლის მასალა
2) ერთი სოწივის სერტიფიკატი
10. დამატებითი
აპარატურის სოფტვერს უნდა ჰქონდეს SECS კომუნიკაციის პროტოკოლი, და მUA-მა მომწიდავს დინამიური ბიბლიოთეკა მUA-ს MES სისტემასთან დოკინგის ფუნქციით, ავტომატურად ჩაწერს პროდუქტის ბატჩ ნომერს, სამუშაო ნომერს და მოქმედების სტატუსს და ის们 ატვირთავს. ერთიანად, ის მიზნებს მასკის პლატის QR კოდის იდენტიფიკაციას, შედარებას MES სისტემის მასკის პლატის QR კოდთან და არასწორი მასკის პლატის გამოყენების პრევენციას.

შეფუთვა და მიწოდება