프로젝트 |
내용 |
제품 유형 |
6", 8", 12" 프레임 웨이퍼 |
2D 검사 항목 |
외부 물질, 잔여 접착제, 입자, 스크래치, 균열, 오염, CP 편차, 과도한 면적 등 컷팅 채널 편차 및 칩아웃 |
컷팅 경로 검사 항목 |
6", 8", 12" 프레임 카세트 |
렌즈 및 해상도 |
2x(2.75㎛)/3.5x(1.57㎛)/ 5x(1.1㎛)/7.5x(0.73㎛)/10x(0.55㎛) |
정밀도 |
0.55μm/화소 |
선택적 및 맞춤형 |
INK 모듈, IR 모듈 |
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