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고정밀도 화학기계적 평탄화 CMP 공정

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제품 설명

고정밀 화학 기계적 평탄화(CMP) 장비

정밀 CMP 장비는 화학 부식과 기계적 갈기의 상호 작용을 통해 웨이퍼 표면의 과剰 물질을 효율적으로 제거하고 전구체 나노스케일 평탄화를 실현합니다.
다목적 화학 연마 장치로, 엄격한 기하 정확도와 표면 품질이 요구되는 CMP 및 코팅 연마 응용 프로그램에 특별히 설계되었으며, 나노미터 이하 수준의 Ra를 달성할 수 있습니다.
이 장치는 개별 모듈에서 정밀한 나노미터 수준의 연마를 수행할 수 있으며, 직경 8인치까지의 얇은 시트를 연마하는 기능도 제공합니다. 또한 하드 서브스트레이트 연마, Epi 표면 준비 및 칩 재활용 향상과 같은 비전통적인 연마 응용 분야에서도 사용할 수 있습니다.
CDP 시리즈 머신이 다양한 소재와 공정 요구 사항에 적응할 수 있도록 기술자들은 사용자의 기술 요구 사항에 따라 CMP 공정 요구 사항을 정확히 충족하도록 맞춤형 연마 템플릿을 설계합니다. 왼쪽 이미지는 직경 8인치의 단일 웨이퍼 범위를 보여줍니다.
CDP 머신에서 연마된 웨이퍼나 장치의 정확한 측정 및 제어를 보장하기 위해 우리는 랩탑에서 실행될 수 있는 맞춤형 CDP 스캐닝 그래픽 프로그램을 갖춘 EPD 시스템을 개발했습니다. 이 프로그램은 연마 과정을 모니터링하고 그래픽으로 표현하며, 엔드포인트에 도달하면 자동으로 중지됩니다.
과도한 연마를 방지하십시오. CDP 스캐닝은 또한 보안 기능으로 작동할 수 있습니다. 모니터링 중인 프로세스 매개변수의 변화가 감지되면 CDP Scan은 과도한 연마를 방지하기 위해 오디오 알람을 트리거합니다. 이와 관련된 예시로는 캐리어 속도가 사전 설정된 값에서 변경되는 경우가 있습니다. EPD 시스템은 패드와 연마 재료 간의 마찰 수준이 캐리어 속도의 변화로 인해 변하여 웨이퍼의 성공적인 평면화가 위험에 처할 수 있음을 감지합니다. 이 시점에서 EPD 시스템은 고정장치를 패드 표면에서 제거하기 전에 청각 경보를 울릴 수 있으며, 자동으로 종료되도록 설정할 수도 있습니다.
ACP 시스템은 더 넓은 범위의 응용 분야에서 사용될 수 있으며, 차트는 실리콘 산화물, 구리, 실리콘 질화물, 알루미늄 구리, 실리콘 게르마늄, 텅스텐에 대한 CMP 공정 테스트 결과를 보여줍니다.
차트는 CMP 공정 후 WTWNU가 2.82%에 도달할 수 있음을 보여줍니다.
애플리케이션
실리콘 웨이퍼 평면화
II-V 화합물 평면화
산화물 평탄화
적외선 재료 기판 평탄화
사파이어, 질화갈륨 및 실리콘 카바이드 기판 평탄화, EPI 기판 평탄화
SOS 및 SOI 웨이퍼를 20마이크론 이하로 얇게 만듦
계층적 역공학 또는 FA 응용
사양
전원 공급 장치
220v 10A
와퍼 크기
4”/100mm
6”/150mm
8”/200mm
12”/300mm
작동 디스크 직경
520mm、780mm
작동 디스크 속도
0-120RPM
고정장치 속도
0-120RPM
고정장치 흔들림 주파수
0-30spm
웨이퍼 후면 압력
0-150psi
웨이퍼 중심점의 압력
0-50psi
타이머 시간
0-10 h
급유 채널
≥2
이송 속도
0-150ml/min
포장 및 배송
회사 소개
마인더하이테크는 반도체 및 전자 제품 산업 장비의 판매 및 서비스 대표입니다. 2014년 이후, 회사는 고객에게 우수하고 신뢰할 수 있으며 일괄적인 기계 장비 솔루션을 제공하기 위해 노력해 왔습니다.
자주 묻는 질문
1. 가격에 대해:
우리의 모든 가격은 경쟁력 있고 협상 가능합니다. 장치의 구성과 맞춤화 복잡성에 따라 가격이 달라집니다.

2. 샘플에 대해:
우리는 당신을 위해 샘플 생산 서비스를 제공할 수 있지만, 일부 비용을 지불해야 할 수 있습니다.

3. 결제에 대해：
계획이 확정된 후, 먼저 우리에게 예치금을 지불해야 하며, 공장에서 제품 준비를 시작할 것입니다. 장비가 준비되면 잔액을 지불하고 우리는 그것을 발송할 것입니다.
장비가 준비되고 잔액을 지불하면 우리는 이를 발송할 것입니다.

4. 배송에 대해:
장비 제조가 완료된 후, 우리는 당신에게 검수 영상을 보낼 것이며, 또한 현장에 와서 장비를 점검할 수도 있습니다.

5. 설치 및 디버깅:
장비가 귀하의 공장에 도착한 후, 우리는 엔지니어를 파견하여 장비를 설치하고 디버깅할 수 있습니다. 이 서비스 비용에 대해 별도의 견적을 제공해 드립니다.

6. 보증에 대해:
우리 장비는 12개월의 보증 기간이 있습니다. 보증 기간 이후에 부품이 손상되어 교체가 필요할 경우, 우리는 원가만 청구합니다.

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