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와퍼 크기
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4”~ 8” 웨이퍼
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웨이퍼 두께
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100~750 마이크론
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웨이퍼 유형
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시, 시C, 가N 또는 다른 재료
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필름 종류
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블루 필름, UV 필름
너비: 230 ~ 300 mm 길이는 100m 두께: 0.05 ~ 0.2mm |
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웨이퍼 운반 반지
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6、8DISCO
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로딩 및 탈하드 방법
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수동으로 웨이퍼/모지 반지 배치 및 제거
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필름 위치 정확도
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±0.5mm
6인치 및 8인치 웨이퍼용 표준 6인치 및 8인치 웨이퍼 플레이트 |
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진공 펌프
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Minder-Hightech
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항전기 제어
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탈이온 팬
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제어 장치
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PLC 제어 기반, 10인치 터치 스크린 장착
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안전 보호
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광선 커튼 보호 및 응급 정지 버튼 구성
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전원 공급 전압
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단상 AC 220V, 16A
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압축 공기
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0.45~0.6MPa, 유량 70L/min
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기계 케이스
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화이트 플라스틱 도장 금속 케이스
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볼륨
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850mm (폭)*1750mm (깊이)*1970mm (높이)
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순 중량
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480kg
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