정렬기\/정렬 머신 포토리소그래피 , China 정렬기\/정렬 머신 포토리소그래피 Manufacturers, Suppliers, Factory

제품 설명

마스크 정렬기 리소그래피 기계

마스크 정렬기는 주로 소규모 및 중규모 통합 회로, 반도체 구성 요소, 광전 소자, 표면 음향파 소자, 박막 회로 및 전력 전자 장치의 개발 및 생산에 사용됩니다
마스크 정렬기는 마스크 정렬 노광 장비, 노광 시스템, 리소그래피 시스템 등으로 알려져 있으며 칩 제조의 핵심 장비입니다. 이는 사진 인쇄 기술과 유사한 방식으로 빛 노출을 통해 마스크에 있는 미세 패턴을 실리콘 웨이퍼에 인쇄합니다.
주요 구성 요소: 고정밀 정렬 작업대, 이안 분리 시야 수직 현미경, 이안 분리 시야 수평 현미경, 디지털 카메라, 컴퓨터 영상 메모리 시스템, 다중 포인트 광원(플라이아이) 노광 헤드, PLC 제어 시스템, 공압 시스템, 진공 시스템, 직결형 진공펌프, 2차 방진 작업대 및 부속품 상자로 구성됩니다.

Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture

Aligner /Alignment Machine photolithography factory

특징

1. 높은 균일성의 플라이아이 노광 헤드 / 공기 부유 평면화 메커니즘 / 신뢰할 수 있는 진공 클램핑 노광. 높은 해상도.
2. 마스크 정렬 방식으로 안정적인 기판 공급을 유지하며, 지도 중력과 힘의 일관성을 보장합니다.
3. 갭 없는 직선 가이드를 사용하여 고정밀, 고속 작동이 가능합니다.
4. 모든 모델은 AZ, Shipley, SU 8과 같은 모든 표준 포토레지스트와 함께 사용할 수 있습니다.
5. 시스템이 기판에 전달하는 패턴 품질은 첫 번째 마스크 적용 후의 패턴 품질과 동일해야 합니다.
6. 노출 시간은 1초에서 1시간 사이로 조정 가능하며, 정렬 정확도는 1 µm입니다.

Aligner /Alignment Machine photolithography supplier

Aligner /Alignment Machine photolithography details

사양

모델	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
노광 방식	한쪽 면			양면 정렬 및 양면 노광
노출 모드	접촉식 하드, 소프트 및 비접촉 근접
노광 헤드 수량	1 노광 헤드			2 노광 헤드
광원 유형	GCQ350 구형 수은 램프						LED UV 노광 헤드
냉각 방법	공기 냉각
노광 영역	Φ100mm	110×110mm	Φ100mm		150mm×150mm
노출 모드	경질, 소프트 접촉 호환
노출 불균일성	Φ100mm<±3%<>	≤±3%
노출 해상도	2μm	1 μm
광선 강도(365 nm)	≥6mw/cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0～30mw/cm2
광선 불균일성	≤±4%	≤±3%
자외선 빛 최대 편차 각도	4°	3°
조명 범위	≤Φ117mm	Φ117mm	≤Φ117mm		앞뒤 ≥ Φ115mm
阚형 오차 보상 모드	반구형 자동 보상			자동 제거		3 점 자동 보상
X 및 Y 축의 이동	±4mm	±5mm	±4mm		±5 mm
θ의 이동	±3°	≤5°	≤±5º		≤0.5°
XYZ 기판 이동 해상도	0.5µm	0.3µm	0.3µm		0.01µm
현미경 시스템	두 개의 단일 배럴 현미경 / 두 개의 CCD 카메라
디스플레이 크기	15인치
이미징 시스템 해상도	2µm	1.5µm	1.5µm		1.5µm
마스크와 기판 측정 거리	0.5 µm	0.3 µm
CCD 타겟 표면의 대각선 차원	1/3,（6mm）						40mm～110mm
설정 테이블 크기	≤ 5*5 인치 정사각형(맞춤 사양 가능)
기판 크기	Φ 100mm 또는 100*100mm 정사각형	60*49.5mm 정사각형	2”-4”		1"x1"-5"x5"
기판 두께	1~3mm	≤5 mm	1~3mm		≤5 mm
진공 펌프	오일 프리 무음（-0.07～－0.08MPα）
청정 압축 공기	≥0.4MPα
전원 공급 장치	AC 220V±10% 50HZ 1.5KW
청정실 등급	100 클래스
청정실 온도	25℃±2℃
クリーンルームの相対湿度	≤60%
クリーンルームの振動振幅	≤4μm
장비 크기	1300 ×720×1600mm				1500 ×800×1600mm
장비 무게	200KG				280kg

고정밀도 정렬 시스템을 제조하기 위해서는 거의 완벽한 정밀 기계 공정이 필요합니다. 정렬 시스템의 또 다른 기술적 문제는 정렬 현미경입니다. 현미경의 시야를 확대하기 위해 많은 고급 리소그래피 장비는 LED 조명을 사용합니다. 초점 기능이 있는 정렬 시스템은 두 세트가 있습니다. 이는 주로 현미경 본체에 대한 두 눈과 두 시야로 구성되며, 하나의 접안렌즈와 하나의 물체 렌즈 쌍으로 이루어져 있습니다 (리소그래피 장치는 일반적으로 사용자에게 다양한 배율의 접안렌즈와 물체 렌즈를 제공합니다). CCD 정렬 시스템의 역할은 마스크와 샘플의 정렬 표시자를 확대하고 모니터에 이미지를 표시하는 것입니다.

작업물 스테이지는 리소그래피 머신의 핵심 부분으로, 마스크 샘플 전체 운동 스테이지 (XY), 마스크 샘플 상대 운동 스테이지 (XY), 회전 스테이지, 샘플 레벨링 메커니즘, 샘플 초점 메커니즘, 웨이퍼 스테이지, 마스크 클램프 및 마스크 스테이지가 포함됩니다. 샘플 레벨링 메커니즘은 볼 시트와 반구로 구성됩니다. 레벨링 과정에서 먼저 압력 공기가 볼 시트와 반구에 적용되고, 그 다음 초점 손바퀴를 통해 볼 시트, 반구 및 샘플이 위로 이동하여 샘플이 마스크에 맞춰지게 되고, 이후 두 위치 삼방 전자밸브가 볼 시트와 반구를 진공 상태로 전환하여 잠그고 레벨링 상태를 유지합니다.

마인더 하이테크는 당신에게 Aligner/Alignment Machine을 통한 고급 포토리소그래피 기술을 제공합니다.

전자 제품에 회로를 인쇄할 때 충분한 정확도를 확보하지 못해 어려움을 겪고 있나요? 마인더 하이테크의 알라이너/정렬 장비를 사용하면 인쇄된 회로 생산에서 높은 수준의 정밀도를 달성할 수 있습니다.

이 혁신적인 제품을 사용하면 포토리소그래피를 통해 고해상도 이미지를 제품으로 원활하게 전송할 수 있습니다. 이 기계는 재료를 이미지와 정렬하는 운영 시스템을 통해 정확성을 보장합니다.

사진이 인쇄되고 업로드된 후, 기계는 노출량과 재료가 사진과 어떻게 정렬되어야 하는지 계산합니다. 이 계산은 제조 산업의 기술 발전에 맞춰 업데이트 가능한 최신 컴퓨터 소프트웨어를 사용하여 수행됩니다.

이것은 마이크로 서킷, 라디오푸리QUENCY (RF) 서킷 및 내장형 서킷을 포함한 넓은 범위의 제작을 가능하게 해줍니다. 이 장치는 화학적 에칭 및 전도 도금과 같은 다양한 보완적 절차를 추가함으로써 최상의 에칭 깊이, 트랙 너비 및 층 간 정렬을 제공할 수 있습니다.

우리 제품의 장점은 패턴이 재료에 매우 정확하게 위치하도록 보장하는 높은 정렬 능력에 있습니다. 당신은 어떤 왜곡 없이 많은 복잡한 디자인을 편리하게 인쇄할 수 있습니다.

이 제품은 사용하기 쉬우며, 소형이며 효율적이어서 다양한 제조 시설이나 기업 규모에 적합합니다. 또한, 우리 제품은 기술 지원 팀과 함께 수동 유지 관리 및 현장 교육을 제공합니다.

마인더하이테크의 어라인먼트 머신은 포토리소그래피 기술을 사용하여 회로를 인쇄할 때 최상의 결과를 얻도록 도와줍니다. 전통적인 인쇄 방법으로는 따라올 수 없는 높은 정확도와 정밀도를 제공하는 새로운 수준의 기술을 경험해 보세요. 마인더하이테크의 어라인먼트 머신은 제조 회사가 경쟁사보다 한 발 앞서 나갈 수 있도록 도와주는 솔루션입니다. 시장에 출시된 최고의 어라인먼트 머신 기술의 이점을 누리려면 지금 바로 저희에게 연락하세요.

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