Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
견적 요청

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

홈페이지
회사 소개
MH Equipment
솔루션
해외 사용자
동영상
CONTACT US
홈> MH Equipment> 그라인더 및 폴리셔
  • 자동 CMP 후 청소
  • 자동 CMP 후 청소
  • 자동 CMP 후 청소
  • 자동 CMP 후 청소
  • 자동 CMP 후 청소
  • 자동 CMP 후 청소
  • 자동 CMP 후 청소
  • 자동 CMP 후 청소
  • 자동 CMP 후 청소
  • 자동 CMP 후 청소
  • 자동 CMP 후 청소
  • 자동 CMP 후 청소

자동 CMP 후 청소

무료 견적 받기
제품 설명

웨이퍼 화학 기계 연마 후 청소 장비

CMP 후 청소

기계의 특징

강력한 공정 능력
이중 챔버 브러시, 넓은 범위의 공정 적용성
장비가 차지하는 면적이 작으며, 크기는 2200 * 800 * 2200 (mm)

응용 분야

6-8 인치 CMP 후 브러시
SIC 또는 기타 기판 갈기 후 세척

기술 매개변수

4인치 및 6인치 CMP 후 세척
이중 챔버 설계, 독립된 챔버 작동 습식 입력 및 건식 출력 또는 건식 입력 및 건식 출력
고속 회전 건조 SRD

로드포트 유닛, 로딩 유닛

로드포트는 이 장치의 로딩 유닛입니다
습식 카세트 공급
스프레이 가습 기능 있음

브러시 유닛, 웨이퍼 세척 유닛

이중 챔버 유닛, 두 가지 다른 세정 용액을 지원 가능
브러시 위치는 레시피에 따라 조정할 수 있습니다. 벨트 컨베이어

SRD 유닛, 웨이퍼 건조 유닛

웨이퍼 클램프 방식 스핀 드라이잉, 최대 속도 4000RPM
웨이퍼 표면에서 AS 청소 및 DIW 분사가 가능합니다

UNLOAD 유닛, 절단 유닛

UnLoad 유닛은 웨이퍼 출력의 청결을 보장하기 위한 독립적인 FFU를 갖추고 있습니다

컨베이어

습식 구역은 벨트 컨베이어입니다
로봇 전송을 위한 건식 구역

브러시 유닛 설명

좌측 도표에 나타난 바와 같이, 이 장치의 브러시 유닛은 BU1과 BU2라는 두 개의 브러시 모듈로 구성됩니다.
각 유닛의 브러시 압력은 별도로 조정할 수 있습니다 (레시피에서 지정된 대로), 각 브러시 블레이드 유닛은 다른 화학 세척 용액으로 별도로 세척할 수 있습니다.
기계의 브러시는 시장에서 일반적으로 사용되는 PVA 브러시를 채택합니다.
공간 간의 전송은 벨트 컨베이어입니다. 내부 공간에 DIW RINSE가 있습니다

SRD 유닛

SRD 유닛에는 물리적으로 웨이퍼 표면을 더 깨끗이 하고 회전 건조하는 클램핑 CHUCK과 AS ARM이 장착되어 있습니다.
사양
장비 크기:
2200 * 800 * 2200 (mm)
로딩 및 언로딩 방법
건식 진입/습식 진입/건식 탈출
브러시 유닛 수
2
SRD 유닛 수
1
운송 방법
습식 구역 벨트 운송, 건식 구역 로봇 운송
브러시 챔버 1개가 있는 장비의 크기는 1850 * 800 * 2200입니다
포장 및 배송
회사 소개
자주 묻는 질문
1. 가격에 대해:
우리의 모든 가격은 경쟁력 있고 협상 가능합니다. 장치의 구성과 맞춤화 복잡성에 따라 가격이 달라집니다.

2. 샘플에 대해:
우리는 당신을 위해 샘플 생산 서비스를 제공할 수 있지만, 일부 비용을 지불해야 할 수 있습니다.

3. 결제에 대해：
계획이 확정된 후, 먼저 우리에게 예치금을 지불해야 하며, 공장에서 제품 준비를 시작할 것입니다. 장비가 준비되면 잔액을 지불하고 우리는 그것을 발송할 것입니다.
장비가 준비되고 잔액을 지불하면 우리는 이를 발송할 것입니다.

4. 배송에 대해:
장비 제조가 완료된 후, 우리는 당신에게 검수 영상을 보낼 것이며, 또한 현장에 와서 장비를 점검할 수도 있습니다.

5. 설치 및 디버깅:
장비가 귀하의 공장에 도착한 후, 우리는 엔지니어를 파견하여 장비를 설치하고 디버깅할 수 있습니다. 이 서비스 비용에 대해 별도의 견적을 제공해 드립니다.

6. 보증에 대해:

우리 장비는 12개월의 보증 기간이 있습니다. 보증 기간 이후에 부품이 손상되어 교체가 필요할 경우, 우리는 원가만 청구합니다.

더 많은 제품

문의

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

개인정보 보호정책

문의 Email WhatsApp Top
×

연락하기