접착 작업대 |
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부하 능력 |
1 조각 |
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XY 스트로크 |
10인치*6인치(작동 범위 6인치*2인치) |
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정확성 |
0.2mil/5um |
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이중 작업 단계는 지속적으로 공급할 수 있습니다. |
웨이퍼 작업대 |
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XY 이동 스트로크 |
6inch * 6 인치 |
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정확성 |
0.2mil/5um |
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웨이퍼 위치 정확도 |
+-1.5만 |
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각도 정확도 |
+ -3도 |
다이 치수 |
5백만*5백만~100백만*100백만 |
웨이퍼 치수 |
6inch |
픽업 범위 |
4.5inch |
결합력 |
25g-35g |
멀티 웨이퍼 링 디자인 |
4 웨이퍼 링 |
다이 유형 |
R/G/B 3종 |
본딩 암 |
90도 회전 |
모터 |
AC 서보모터 |
이미지 인식 시스템 |
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방법 |
256 그레이 스케일 |
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체크 |
잉크 도트, 치핑 다이, 크랙 다이 |
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디스플레이 스크린 |
17인치 LCD 1024*768 |
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정확성 |
1.56um-8.93um |
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광학 배율 |
0.7X-4.5X |
접착주기 |
120ms |
프로그램 수 |
100 |
하나의 기판에 대한 최대 다이 수 |
1024 |
사망 수표 |
방법 진공 센서 테스트 |
접착주기 |
180ms |
접착제 분배 |
1025-0.45mm |
사망 수표 |
방법 진공 센서 테스트 |
입력 전압 |
220V |
비행기 |
소스 최소 6BAR, 70L/분 |
진공원 |
600mmHG |
출력 |
1.8kw |
외형 치수 |
1310 1265 * * 1777mm |
무게 |
680kg |
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