자동 단일 플레이트 웨이퍼 화학 기계적 연마기 CMP, 중국 자동 단일 플레이트 웨이퍼 화학 기계적 연마기 CMP 제조업체, 공급업체, 공장

여행지 설명

ATOM 싱글 플레이트 CMP

기계 기능

이 장치는 유연해서 여러 개의 머리를 지탱할 수 있습니다.
해당 장비의 공정 능력은 동일 크기의 제품 중 주류 모델 수준에 가깝습니다.
장치 간 프로세스의 일관성이 좋습니다.

애플리케이션 분야

4~8인치 STI, ILD/IMD, TSV, TGV 연마, SiC, LT, LN, GaAs 등의 화합물 표면 연마

기술 매개 변수

4인치, 6인치, 8인치 헤드, 멀티존 컨트롤
Φ20인치 508MM 플래튼 유형
헤드 압력 제어 정확도<0.05PSI
헤드 및 플래튼 회전 속도 제어 정확도<2RPM

1. 로드포트 유닛

포트를 뒤집어서 카세트를 Qtank에 담가 슬러리 결정이 형성되는 것을 방지할 수 있습니다.
웨이퍼의 연마된 표면. 카세트 매핑 기능 장착.

2. 로봇재료 회수장치

4축 로봇을 탑재하여 카세트에서 연마 유닛으로 웨이퍼를 자동으로 이송할 수 있습니다.

3. 폴리셔 유닛

본 기기는 Platen * 1, Head * 1, PC * XNUMX을 탑재하고 있습니다.
1, 슬러리 암 * 1, HCLU * 1 및 EPD 종료점
감지. 자동 웨이퍼 로딩 및 언로딩, 멀티 존 헤드 제어, 슬러리
레시피 설정, 엔드포인트 감지 및 기타 기능을 통해 착륙 지점을 변경할 수 있습니다.

CMP 연마 헤드

이 장치에 구성된 폴리셔 헤드는 모두 당사에서 독립적으로 개발, 설계, 생산했습니다.
그 중 4인치 3캐비티 헤드는 중국에서 멀티 캐비티 4인치 헤드가 없는 갭을 메우는 우리 회사가 만든 독특한 제품입니다. 우리 회사는 고객 제품의 특성에 따라 헤드를 빠르게 수정하거나 사용자 정의할 수 있습니다. TGV 박막(200um) 제품을 개발할 때 박막 연마 요구 사항을 충족하도록 헤드의 내부 구조를 수정했습니다. LN 표면 OX 연마 기술을 개발하는 동안 우리 회사는 6인치 헤드를 심층 업그레이드하여 고객의 제품 요구 사항을 성공적으로 충족했습니다.

어플리케이션

전통적인 IC 평탄화 연마 공정

TGV/TSV 공정；

스마트 컷 및 사전 본딩 CMP；

SIC 기판 연마/갈륨비소화 연마.

스펙

포트	수량 * 1, Q-tank 포함
기계 인간	수량 * 1, 웨이퍼 이송용
HCLU	수량 * 1, 웨이퍼 자동 로딩 및 언로딩용
연마 헤드	수량 * 13 캐비티 제어, 0.1PSI의 제어 정확도, 400-1200 UM 웨이퍼 작업을 지원할 수 있습니다.
연마 헤드 속도	5 - 150RPM
연마 디스크	수량 * 1 연마 디스크 크기 508mm, 연마 패드 속도 10-150rpm.
트리밍 암	수량 * 1 연마 패드. 연마 패드는 온라인(동시에) 또는 오프라인(연마 후)으로 연마할 수 있습니다. 트리밍 암에는 트리밍 샤프트가 장착되어 있어 회전하고 위아래로 움직일 수 있으며 속도와 다운포스를 제어할 수 있습니다. 트리밍 도구는 트리밍 샤프트에 설치되어 빠르게 사용할 수 있습니다. 제거됨. 다양한 유형의 연마 패드에 따라 드레싱 도구의 유형이 구성되며 여기에는 드레싱이 포함됩니다. 브러시, 다이아몬드 반지, 다이아몬드 디스크.
UPA 연마 헤드 공기압 제어 유닛	수량 * 13Zone 조정 가능, 표면 평탄화 효과 향상
연마액 공급 펌프	수량 * 2. 액체 공급에는 페리스탈틱 펌프를 사용하며, 2개의 페리스탈틱 펌프는 서로 다른 연마를 전달하도록 구성되었습니다. 연마 디스크에 액체를 공급합니다. 각 펌프는 프로세스의 모든 단계에서 사용할 수 있습니다.
슬러리 암	수량 * 1로 슬러리 낙하점을 조절하고 연마패드를 세척할 수 있습니다.
작업 제어 시스템은 운영자 모드, 유지 관리 모드, 기술 모드와 같은 사용자 수준 제어를 달성할 수 있습니다. ious 모드는 암호로 제어됩니다. 시스템 소프트웨어는 각 프로세스 단계의 프로세스 매개변수를 편집하고 평평하게 만들 수 있습니다. 프로그램에 따라 칩 표면의 박막을 연마합니다. 장비의 작동 상태를 모니터링하고 모니터링할 수 있습니다. 실시간으로 프로세스 매개변수를 처리하고 소프트웨어는 다양한 프로세스 데이터를 자동으로 저장할 수 있습니다. 비상 정지 기능이 장착되어 있습니다. 장비 작동을 즉시 멈추고 제어 전원을 차단하는 데 사용되는 버튼입니다.

포장 및 배달

회사 소개

자주 하는 질문

1. 가격에 관하여:
모든 가격은 경쟁력이 있으며 협상 가능합니다. 가격은 장치의 구성 및 사용자 정의 복잡성에 따라 다릅니다.

2. 샘플에 관하여:
저희는 귀사를 위해 샘플 제작 서비스를 제공해 드릴 수 있지만, 일부 수수료는 귀하가 지불해야 할 수 있습니다.

3. 지불에 관하여：
계획이 확정되면 먼저 보증금을 지불해야 하며 공장에서 상품 준비를 시작합니다.
장비가 준비되었고 잔금을 지불하시면 해당 장비를 배송해 드립니다.

4. 배송에 관하여:
장비 제작이 완료되면 인수 영상을 보내드리고, 고객께서도 현장에 오셔서 장비를 검사하실 수 있습니다.

5. 설치 및 디버깅:
장비가 귀사 공장에 도착하면 엔지니어를 파견하여 장비를 설치하고 디버깅할 수 있습니다. 이 서비스 요금에 대한 별도 견적을 제공해 드립니다.

6. 보증에 관하여:
당사 장비는 12개월 보증 기간이 있습니다. 보증 기간 이후에 부품이 손상되어 교체해야 하는 경우, 원가만 청구합니다.