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자동 싱글 플래튼 웨이퍼 화학 기계적 연마 평탄화 장치 CMP

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제품 설명
ATOM 싱글 플레이트 CMP

기계의 특징

장치는 유연하며 여러 헤드를 지원할 수 있습니다.
장비의 공정 능력은 동일 크기의 제품 중 주류 모델 수준에 가깝습니다.
장치 간 공정 일관성이 우수합니다.

응용 분야

4-8인치 STI, ILD/IMD, TSV, TGV 연마 및 SiC, LT, LN, GaAs 등의 화합물 표면 연마

기술 매개변수

4인치, 6인치, 8인치 헤드, 다중 영역 제어
Φ20인치 508MM 플레이트 유형
헤드 압력 제어 정확도 <0.05PSI
헤드 및 플레이트 회전 속도 제어 정확도 <2RPM

1. LoadPort 유닛

포트를 뒤집어 Cassette을 Qtank에 담가 Slurry 결정이 형성되는 것을 방지함
연마된 웨이퍼 표면에서 발생하는 문제 해결. Cassette Mapping 기능 탑재.

2. 로봇 자동 취급 장치

4축 로봇을 탑재하여 Cassette에서 연마 장치로 웨이퍼를 자동으로 전송 가능.

3. 폴리셔 유닛

이 유닛은 플래튼 * 1, 헤드 * 1, PC *
1, 슬러리 암 * 1, HCLU * 1 및 EPD 엔드포인트
검출 기능을 갖추고 있습니다. 자동 웨이퍼 로딩 및 언로딩, 멀티존 헤드 제어, 슬러리
레시피 설정에 따른 착륙 지점 변경, 엔드포인트 검출 및 기타 기능을 수행할 수 있습니다.
CMP 폴리셔 헤드
이 장치에 구성된 폴리셔 헤드는 모두 우리 회사에서 독립적으로 개발, 설계 및 생산한 것입니다.
그중 4인치 3캐버티 헤드는 우리 회사가 만든 독창적인 제품으로, 중국 내 다중 캐버티 4인치 헤드의 공백을 메운 제품입니다. 우리는 고객 제품의 특성에 따라 헤드를 신속하게 수정하거나 맞춤화할 수 있습니다. TGV 박막 (200um) 제품 개발 과정에서 헤드의 내부 구조를 수정하여 박막 폴리싱 요구 사항을 충족시켰습니다. LN 표면 OX 폴리싱 기술 개발 과정에서 우리 회사는 6인치 헤드를 심도 있게 업그레이드하여 고객의 제품 요구 사항을 성공적으로 충족시켰습니다.
응용 프로그램
전통적인 IC 평면화 연마 공정;
TGV/TSV 공정;
스마트 컷 및 프리 본딩 CMP;
SIC 기판 연마/갈륨 아르세나이드 연마.
사양
항구
수량 * 1, Q 탱크 포함
로봇
수량 * 1, 웨이퍼 전송용
HCLU
수량 * 1, 웨이퍼의 자동 로딩 및 언로딩 용
연마 헤드
수량 * 13 개 구멍 제어, 0.1PSI의 제어 정확도, 400-1200 UM 웨이퍼 작동을 지원할 수 있음.
연마 헤드 속도
5-150RPM
연마 디스크
수량 * 1 연마 디스크 크기 508mm, 연마 패드 속도 10-150rpm.
가공 암
수량 * 1 연마 패드. 연마 패드는 온라인(동시) 또는 오프라인(연마 후)에서 가공할 수 있습니다. 가공
암은 회전하고 상하로 이동할 수 있는 가공 샤프트가 장착되어 있으며, 속도와 하중이 제어될 수 있습니다.
가공 도구는 가공 샤프트에 설치되어 빠르게
분리될 수 있습니다. 다양한 종류의 연마 패드에 따라 다양한 종류의 드레싱 도구가 구성되며, 이에는 드레싱
브러시, 다이아몬드 링, 다이아몬드 디스크가 포함됩니다.
UPA 연마 헤드 공압 제어 장치
수량 * 13. 구역 조정 가능하여 표면 평탄화 효과 향상
연마액 공급 펌프
수량 * 2. 액체 공급에 복합펌프 사용, 2개의 복합펌프가 서로 다른 연마액을 디스크로 전달하도록 구성됨. 각 펌프는 프로세스의 어떤 단계에서든 사용 가능
액체를 연마 디스크로 전송합니다. 각 펌프는 프로세스의 어느 단계에서든지 사용할 수 있습니다.
슬러리 팔
수량 * 1 슬러리 착륙 지점을 제어하고 연마패드를 청소할 수 있음
운영 제어 시스템은 운영자 모드, 유지보수 모드, 기술자 모드와 같은 사용자 레벨 제어를 달성할 수 있으며, 다양한 모드는 비밀번호로 제어됩니다. 시스템 소프트웨어는 각 공정 단계의 공정 매개변수를 편집하고 프로그램에 따라 칩 표면의 박막을 평탄화 및 연마할 수 있습니다.
각 공정 단계의 공정 매개변수를 편집하고 프로그램에 따라 칩 표면의 박막을 평탄화하고 연마할 수 있습니다.
장비의 작동 상태를 모니터링하고 공정 매개변수를 실시간으로 모니터링하며 소프트웨어는 다양한 공정 데이터를 자동으로 저장할 수 있습니다. 응급 정지 장치가 설치되어 있습니다.
공정 매개변수를 실시간으로 모니터링하며 소프트웨어는 다양한 공정 데이터를 자동으로 저장할 수 있습니다. 응급 정지 장치가 포함되어 있습니다.
장비 작동을 즉시 중지하고 제어 전원을 차단하기 위해 사용되는 버튼.
포장 및 배송
회사 소개
자주 묻는 질문
1. 가격에 대해:
우리의 모든 가격은 경쟁력 있고 협상 가능합니다. 장치의 구성과 맞춤화 복잡성에 따라 가격이 달라집니다.

2. 샘플에 대해:
우리는 당신을 위해 샘플 생산 서비스를 제공할 수 있지만, 일부 비용을 지불해야 할 수 있습니다.

3. 결제에 대해：
계획이 확정된 후, 먼저 우리에게 예치금을 지불해야 하며, 공장에서 제품 준비를 시작할 것입니다. 장비가 준비되면 잔액을 지불하고 우리는 그것을 발송할 것입니다.
장비가 준비되고 잔액을 지불하면 우리는 이를 발송할 것입니다.

4. 배송에 대해:
장비 제조가 완료된 후, 우리는 당신에게 검수 영상을 보낼 것이며, 또한 현장에 와서 장비를 점검할 수도 있습니다.

5. 설치 및 디버깅:
장비가 귀하의 공장에 도착한 후, 우리는 엔지니어를 파견하여 장비를 설치하고 디버깅할 수 있습니다. 이 서비스 비용에 대해 별도의 견적을 제공해 드립니다.

6. 보증에 대해:
우리 장비는 12개월의 보증 기간이 있습니다. 보증 기간 이후에 부품이 손상되어 교체가 필요할 경우, 우리는 원가만 청구합니다.

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