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스펙
플라즈마 소스
RF+바이어스
출력
1000W
1000W
600W
600W
적용 범위
4-8 인치
단일 처리 슬라이스 수
한
외관 치수
1140mm X X 1050mm 1620mm
시스템 제어
산업 제어 시스템
자동화 수준
Manual
공장
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