분쇄 가능한 웨이퍼 |
크기 |
인치 |
4,5,6,8 |
웨이퍼 카세트 |
번호 |
- |
2 |
문지르는 방법 |
- |
수직 플런지 연삭 방법 |
|
연삭 휠 스핀들 |
유형 |
- |
에어베어링 |
수량 |
- |
2 |
|
속도 |
RPM |
0 ~ 5000 |
|
출력 전력 |
Kw |
5.5/7.5 |
|
행정 |
mm |
150 |
|
이송 속도 |
음/초 |
0.01 ~ 100 |
|
빨리 감기 속도 |
mm / 분 |
300 |
|
분해능 |
um |
0.1 |
|
공작물 축 |
타입 |
- |
볼 베어링 |
수량 |
- |
3 |
|
흡입 컵 유형 |
- |
미세다공성 세라믹 |
|
웨이퍼 흡입 방식 |
- |
진공 흡착 |
|
속도 |
RPM |
0 ~ 300 |
|
웨이퍼 전송 |
- |
로봇 팔 |
|
- |
회전 디스크 |
||
다른 기능 |
웨이퍼 센터링 |
- |
모바일 핀 정렬 |
웨이퍼 세정 |
- |
물 및 공기 청정, 회전 건조 |
|
흡입컵 세척 |
- |
오일스톤 세척 |
|
그라인딩 휠 |
mm |
Φ200 |
|
배우기 측량 |
측정 범위 |
um |
0 ~ 1800 |
분해능 |
um |
0.1 |
|
반복 정밀도 |
um |
± 0.5 |
|
금형/기계공작 |
웨이퍼 내부 정확도(TTV) |
um |
≤ 2 |
웨이퍼 간 정확도(WTW) |
um |
± 3 |
|
표면 거칠기(Ry) |
um |
0.13(2000#완료) |
|
외관 |
외관 색상 |
um |
오렌지 패턴 |
차원 (W × D × H) |
mm |
1200 2750 × × 1950 |
|
무게 |
kg |
4200 |
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