연마 가능한 웨이퍼 |
크기 |
인치 |
4,5,6,8 |
웨이퍼 카세트 |
숫자 |
- |
2 |
연마 방식 |
- |
수직 플러그 연마법 |
|
연마 휠 주축 |
유형 |
- |
에어 베어링 |
수량 |
- |
2 |
|
속도 |
rpm |
0~5000 |
|
출력 전력 |
KW |
5.5/7.5 |
|
Stroke |
mm |
150 |
|
이송 속도 |
um/s |
0.01~100 |
|
급속 이동 속도 |
mm/min |
300 |
|
해상도 |
um |
0.1 |
|
작업물 축 |
유형 |
- |
구형 베어링 |
수량 |
- |
3 |
|
흡盤 유형 |
- |
미세 다공성 세라믹스 |
|
웨이퍼 흡착 방식 |
- |
진공 흡착 |
|
속도 |
rpm |
0~300 |
|
웨이퍼 전송 |
- |
로봇 팔 |
|
- |
회전 디스크 |
||
기타 기능 |
웨이퍼 센터 맞춤 |
- |
이동 핀 정렬 |
웨이퍼 청소 |
- |
물과 공기로 청소, 회전 건조 |
|
흡착 컵 청소 |
- |
오일스톤 청소 |
|
연삭 휠 |
mm |
φ200 |
|
온라인 측정 |
측정 범위 |
um |
0~1800 |
해상도 |
um |
0.1 |
|
반복 정확도 |
um |
±0.5 |
|
기계화 정확도 |
웨이퍼 내 정확도 (TTV) |
um |
≤2 |
웨이퍼 간 정확도 (WTW) |
um |
±3 |
|
표면 거칠기 (Ry) |
um |
0.13(2000# 마감) |
|
외관 |
외관 색상 |
um |
오렌지 패턴 |
크기(가로×깊이×높이) |
mm |
1200×2750×1950 |
|
무게 |
킬로그램 |
4200 |
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