모델 |
MDTS-WT2200 |
얇아지는 축의 수 |
2 |
작업대의 수 |
3, 인덱스 방법 |
연삭 휠 스핀들 |
에어 스핀들 수 : 2 스핀들 모터 : 7.5kW 가변 주파수 모터 속도: 0~6000rpm, 무단계 조절 가능 연삭 휠 사양 : Φ203mm 연삭 휠 유형: 다이아몬드 연삭 휠 |
연삭 휠 공급 시스템 |
수량 : 2 세트 이송 시스템 제어 방식 : LM 가이드 레일 및 볼 스크류 결합 드라이브 모터: 서보 모터 최소 공급 속도: 0.1um/sec 최대 이송 속도 : 50mm/초 |
워크 벤치 |
수량 : 3, 인덱스 모드 스핀들 모터 : 서보 모터 속도: 0~300rpm, 무단계 조절 가능 흡착방식 : 진공흡착 |
작업대 턴테이블 |
드라이브 모드: 서보 모터 회전 범위 : 0~240° 위치 모양: 센서 지원 위치 |
자동 두께 측정 시스템 |
측정방법 : IPG 접촉 온라인 실시간 측정 측정 헤드 수 : 2 측정센서 : 0.1um 레벨센서 |
자동 로딩/ 언로딩 시스템 |
박스형 : 6-8인치 카세트, 25겹 자동 로딩/언로딩 방식 : 웨이퍼 매니퓰레이터를 사용하여 얇은 웨이퍼가 손상 없이 운반되도록 보장합니다. 웨이퍼 두께 : 150um-1000um |
작업대 청소 기능 |
세척방법 : 오일스톤 연마 &DI수+공기 2액세척 |
자동 청소/ 건조 시스템 |
세척 : DIW 노즐 세척 건조방식 : 송풍+건조 속도: 최대 1000rpm 무단계 조절 가능 |
정전제거 시스템 |
이온바 오리온 팬 |
스핀들 칠러 |
온도 : 18-22 ° C 흐름율: 4~8L/min |
제어 시스템 |
제어 시스템: PC제어 시스템, 터치스크린 3색 알람등 중국어/영어 인간-기계 인터페이스 |
최대 웨이퍼 크기 |
최대 8인치까지 호환 가능 |
속도 범위 |
0 ~ 6000 RPM |
Z 축 이동 |
160mm |
Z축 이송속도 |
0.1~100um/초 |
Z축 빠른 수축 속도 |
50mm / 초 |
Z 축 분해능 |
0.1um |
온라인 두께 측정 범위 |
0 ~ 1800um |
온라인 두께 측정 해상도 |
0.1um |
저작권 © 광저우 마인더 하이테크 주식회사 모든 권리 보유