모델 |
MDTS-WT2200 |
가공 축 수 |
2 |
작업대 수 |
3, 색인 방법 |
연마 휠 주축 |
에어 스피нд 수: 2 스피нд 모터: 7.5kW 인버터 모터 속도: 0~6000rpm, 무단 조절 가능 연마 바퀴 사양: Φ203mm 연마 바퀴 유형: 다이아몬드 연마 바퀴 |
연마 바퀴 공급 시스템 |
수량: 2 세트 급여 시스템 제어 방식: LM 레일 및 볼 스크류 조합 드라이브 모터: 서보 모터 최소 급여 속도: 0.1um/초 최대 급여 속도: 50mm/초 |
작업용 |
수량: 3, 인덱스 모드 주축 모터: 서보 모터 속도: 0~300rpm, 무단 조절 가능 흡착 방식: 진공 흡착 |
작업대 회전판 |
드라이브 방식: 서보 모터 회전 범위: 0~240° 포지셔닝 방식: 센서 보조 포지셔닝 |
자동 두께 조절 측정 시스템 |
측정 방식: IPG 접촉식 온라인 실시간 측정 측정 헤드 수: 2 측정 센서: 0.1um급 센서 |
자동 로딩/ 언로딩 시스템 |
박스 유형: 6-8인치 카세트, 25층 자동 로딩/언로딩 방법: 웨이퍼 손상 없이 이동하기 위해 웨이퍼 조작기가 사용됨 웨이퍼 두께: 150um-1000um |
작업대 청소 기능 |
청소 방법: 오일스톤 연마 & DI 물+공기 이중 유체 세척 |
자동 세척/ 건조 시스템 |
세척: DIW 노즐 세척 건조 방법: 블로우 + 건조 속도: 최대 1000rpm 무단 변속 가능 |
정적 제거 시스템 |
아이온 바 또는 이온 팬 |
주축 쿨러 |
온도: 18-22°C 유량: 4~8L/분 |
제어 시스템 |
제어 시스템: PC 제어 시스템, 터치 스크린 3색 알람 램프 중국어/영어 인터페이스 |
최대 웨이퍼 크기 |
최대 8인치 호환 가능 |
속도 범위 |
0~6000 RPM |
Z축 이동 |
160mm |
Z축 공급 속도는 |
0.1~100um/초 |
Z축 고속 리트랙션 속도 |
50mm/초 |
Z축 해상도 |
0.1um |
온라인 두께 측정 범위 |
0~1800um |
온라인 두께 측정 해상도 |
0.1um |
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