플라즈마
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rF
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rF
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전력
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ICP
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1000W
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1000W
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BIAS
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600w(option)
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600w(option)
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적용 범위
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4~8 인치
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4~8 인치
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단일 처리 웨이퍼 수
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1
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2
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외형 치수
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1080x1840x1800mm
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1340x2050x1800mm
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시스템 제어
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산업 제어 시스템
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산업 제어 시스템
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자동화 수준
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자동
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자동
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