플라즈마 소스 |
마이크로파 |
전력 |
0-1250W |
작업 공간 |
6 매거진 범위 (매거진 크기 범위: L260mmxW95mmxH190mm) |
처리 능력 |
35um 피치/40um 버프 15x15mm 최대 다이 크기 |
외형 치수 |
480mmx470mmx500mm |
시스템 제어 |
산업 제어 시스템 |
자동화 수준 |
매뉴얼 |
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