프로젝트
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내용
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제품 유형
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6", 8", 12" 프레임 웨이퍼
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2D 검사 항목
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이물질, 잔여 접착제, 입자, 긁힘, 균열, 오염, CP편차, 과다면적 등
채널편차 및 칩핑을 절단 |
절단 경로 검사 항목
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6", 8", 12" 프레임 카세트
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렌즈 및 해상도
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2x(2.75um)/3.5x(1.57um)/
5x(1.1um)/7.5x(0.73um)/10x(0.55um) |
Precision
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0.55μm/픽셀
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선택 사항 및 사용자 정의
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INK 모듈, IR 모듈
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