프로젝트
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내용
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제품 유형
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6", 8", 12" 프레임 웨이퍼
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2D 검사 항목
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외부 물질, 잔여 접착제, 입자, 스크래치, 균열, 오염, CP 편차, 과도한 면적 등
컷팅 채널 편차 및 칩아웃 |
컷팅 경로 검사 항목
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6", 8", 12" 프레임 카세트
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렌즈 및 해상도
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2x(2.75㎛)/3.5x(1.57㎛)/
5x(1.1㎛)/7.5x(0.73㎛)/10x(0.55㎛) |
정밀도
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0.55μm/화소
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선택적 및 맞춤형
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INK 모듈, IR 모듈
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