진공 플라즈마 호스트 유닛 (100) |
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장비 크기 |
L 1000×W 900×H 1750mm |
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무게 |
500kg |
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필요 전원 |
AC380V, 50/60Hz, 5 선, 25A (총 개방형 C 이상) |
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플라즈마 생성기 사양 |
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전력 |
전파 주파수 |
중간 주파수 |
0~600W |
0-1000W |
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공급 주파수 |
13.56MHz (13.56MHz) |
40 K Hz |
진공 시스템 |
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진공 펌프 |
오버플라이트 회전식 펌프 (유압 펌프): 60 m3/h |
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진공 파이프라인 |
전체 스테인레스 라인 및 고강도 진공 벨로우즈 |
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재료 품질 |
alufer |
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두께 |
25mm |
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밀폐성 |
군용급 용접 밀봉 |
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챔버 내부 치수 |
450*450*500mm(폭*높이*깊이) |
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전기 플레이트 유효 크기 |
322*351mm (폭 *깊이) |
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사용 가능한 공간 간격 |
20mm |
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전기 도금 배열 |
수평 전극판 |
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트레이 |
표준 세트, 재료 선택 가능 (알루미늄, 강선 메시) |
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작업 공간 |
8 층 |
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공정 가스 |
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유량 범위 |
0~300SCCM |
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공정 가스 가스 경로 |
표준 두 가지 방식, 맞춤형 가능. 공정 가스 파이프라인은 페로플론으로 만들어짐 |
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navar |
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SC |
PLC |
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인터랙티브 모드 |
7인치 터치 스크린 |
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