진공 플라즈마 호스트 유닛(100) |
||||
장비 크기 |
길이 1000×폭 900×높이 1750mm |
|||
무게 |
500Kg |
|||
수요전원 |
AC380V, 50/60Hz, 5선, 25A (C이상 전개방형) |
|||
플라즈마 발생기 사양 |
||||
힘 |
고주파 |
중간 주파수 |
||
0 ~ 600W |
0 - 1000W |
|||
공급 주파수 |
13.56MHz |
40KHz |
||
진공 시스템 |
||||
진공 펌프 |
상공회전 로터리 펌프(오일 펌프): 60m3/h |
|||
진공 파이프라인 |
전체 스테인레스 스틸 라인 및 고강도 진공 벨로우즈 |
|||
재료 품질 |
알루퍼 |
|||
두께 |
25mm |
|||
견고 |
군용 용접 씰 |
|||
캐비티의 내부 치수 |
450*450*500mm(폭* 높이* 깊이) |
|||
전기 플레이트 유효 크기 |
322*351mm(와이드*깊이) |
|||
사용 가능한 공간 간격 |
20mm |
|||
전기 도금 배열 |
수평 전극판 |
|||
트레이 |
표준 세트, 재질 선택 가능(알루미늄, 철망) |
|||
작업 공간 |
8 층 |
|||
공정 가스 |
||||
유량 범위 |
0~300SCCM |
|||
공정 가스 가스 경로 |
두 가지 방법이 있는 표준이며 사용자 정의할 수 있습니다. 공정 가스 파이프라인은 페로플론으로 만들어졌습니다. |
|||
나바르 |
||||
SC |
PLC |
|||
대화식 모드 |
7인치 터치스크린 |
저작권 © 광저우 마인더 하이테크 주식회사 모든 권리 보유