진공 플라즈마 호스트 유닛(150) |
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장비 크기 |
길이 1100×폭 940×높이 1755mm |
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무게 |
600Kg |
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수요전원 |
AC380V, 50/60Hz, 5선, 25A (C이상 전개방형) |
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플라즈마 발생기 사양 |
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힘 |
고주파 |
중간 주파수 |
0 ~ 1000W |
0 - 2000W |
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공급 주파수 |
13.56MHz |
40KHz |
진공 시스템 |
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진공 펌프 |
도약 단극 펌프 VSV 65 + Bowse Lots 펌프 BSJ 70 |
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진공 파이프라인 |
전체 스테인레스 스틸 라인 및 고강도 진공 벨로우즈 |
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재료 품질 |
알루퍼 |
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두께 |
25mm |
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견고 |
군용 용접 씰 |
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캐비티의 내부 치수 |
500*500*600mm (폭* 높이* 깊이) |
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전기 플레이트 유효 크기 |
372(W) X 451(D)mm |
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사용 가능한 공간 간격 |
24mm |
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전기 도금 배열 |
수평 전극판 |
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트레이 |
표준 세트, 재질 선택 가능(알루미늄, 철망) |
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작업 공간 |
8 층 |
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공정 가스 |
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유량 범위 |
0~300SCCM |
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공정 가스 가스 경로 |
두 가지 방법이 있는 표준이며 사용자 정의할 수 있습니다. 공정 가스 파이프라인은 페로플론으로 만들어졌습니다. |
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제어 시스템 |
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SC |
PC 제어 |
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대화식 모드 |
윈도우 인터페이스 |
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