진공 플라즈마 호스트(200) |
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장비 크기 |
1050×1700×1050mm(폭, 높이, 깊이) |
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무게 |
800Kg |
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수요전력 |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
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플라즈마 발생기 사양 |
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주전원 |
고주파 |
IF |
0 ~ 1000W |
0 - 2000W |
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전력 주파수 |
13.56MHz |
40 KHz로 |
진공 시스템 |
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진공 펌프 |
Feiyue 단극 펌프 VSV100+두 뿌리 펌프 BSJ70 |
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진공 라인 |
올 스테인레스 스틸 파이프 및 고강도 진공 벨로우즈 |
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자료 |
알루미늄 합금 |
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두께 |
25mm |
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견고 |
군용 용접 씰 |
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캐비티 내부 치수 |
600×600×600mm(W×H×D) |
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전극판의 유효 크기 |
472×451mm(W×D) |
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사용 가능한 공간 |
35mm |
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전극판 레이아웃 |
수평 전극판 |
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작업 트레이 |
1세트가 기본이고 재질은 선택사항입니다.(알루미늄, 스틸메쉬) |
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작업 공간 |
8 층 |
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공정 가스 |
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유량 범위 |
0~300SCCM |
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공정 가스 회로 |
O2, Ar, N2 삼원가스 장착 |
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제어 시스템 |
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시스템 제어 |
PC 제어 |
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대화식 모드 |
Windows 인터페이스 |
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