진공 플라즈마 호스트(200) |
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장비 크기 |
1050×1700×1050mm(폭, 높이 및 깊이) |
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무게 |
800kg |
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요구 전력 |
AC380V,50/60Hz,5선, 30A |
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플라즈마 생성기 사양 |
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주전원 |
전파 주파수 |
IF |
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0~1000W |
0-2000W |
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전원 주파수 |
13.56MHz (13.56MHz) |
40 KHz |
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진공 시스템 |
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진공 펌프 |
Feiyue 단극 펌프 VSV100+두 개의 루츠 펌프 BSJ70 |
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진공 라인 |
모든 스테인레스 파이프 및 고강도 진공 벨로우스 |
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재료 |
알루미늄 합금 |
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두께 |
25mm |
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밀폐성 |
군사용 용접 밀봉 |
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내부 치수 |
600×600×600mm(가로×세로×깊이) |
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전극판의 유효 크기 |
472 X 451mm (가로×깊이) |
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사용 가능한 공간 |
35mm |
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전극판 배치 |
수평 전극판 |
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작업 용기 |
일괄 세트는 표준이며, 재질은 선택 사항입니다 (알루미늄, 강철 메시) |
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작업 공간 |
8 층 |
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공정 가스 |
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유량 범위 |
0~300SCCM |
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공정 가스 회로 |
O2, Ar, N2 삼중 가스 장비 |
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제어 시스템 |
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시스템 제어 |
PC 제어 |
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인터랙티브 모드 |
윈도우 인터페이스 |
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