진공 플라즈마 호스트(200) | ||||
장비 크기 | 1050×1700×1050mm(폭, 높이, 깊이) | |||
무게 | 800Kg | |||
수요전력 | AC380V,50/60Hz,5wires, 30A | |||
플라즈마 발생기 사양 | ||||
주전원 | 고주파 | IF | ||
0 ~ 1000W | 0 - 2000W | |||
전력 주파수 | 13.56MHz | 40 KHz로 | ||
진공 시스템 | ||||
진공 펌프 | Feiyue 단극 펌프 VSV100+두 뿌리 펌프 BSJ70 | |||
진공 라인 | 올 스테인레스 스틸 파이프 및 고강도 진공 벨로우즈 | |||
자료 | 알루미늄 합금 | |||
두께 | 25mm | |||
견고 | 군용 용접 씰 | |||
캐비티 내부 치수 | 600×600×600mm(W×H×D) | |||
전극판의 유효 크기 | 472×451mm(W×D) | |||
사용 가능한 공간 | 35mm | |||
전극판 레이아웃 | 수평 전극판 | |||
작업 트레이 | 1세트가 기본이고 재질은 선택사항입니다.(알루미늄, 스틸메쉬) | |||
작업 공간 | 8 층 | |||
공정 가스 | ||||
유량 범위 | 0~300SCCM | |||
공정 가스 회로 | O2, Ar, N2 삼원가스 장착 | |||
제어 시스템 | ||||
시스템 제어 | PC 제어 | |||
대화식 모드 | Windows 인터페이스 |
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