진공 플라즈마 호스트 유닛(60)
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장비 크기
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길이 950×폭 900×높이 1650mm
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무게
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350Kg
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수요전원
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AC380V, 50/60Hz, 5선, 16A (C이상 전개방형)
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플라즈마 발생기 사양
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힘
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고주파
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중간 주파수
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0 ~ 600W
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0 - 1000W
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공급 주파수
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13.56MHz
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40KHz
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진공 시스템
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진공 펌프
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40단 로터리 펌프(오일 펌프): 3mXNUMX/h
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진공 파이프라인
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전체 스테인레스 스틸 라인 및 고강도 진공 벨로우즈
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재료 품질
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알루미늄 합금(맞춤형 스테인레스 스틸 캐비티)
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두께
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25mm
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견고
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군용 용접 씰
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캐비티의 내부 치수
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375*375*430mm(폭* 높이* 깊이)
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전기 플레이트 유효 크기
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247*281mm(와이드* 깊이)
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사용 가능한 공간 간격
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22mm
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전기 도금 배열
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수평 레이아웃, 활성 추출 가능
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트레이
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표준 세트, 재질 선택 가능(알루미늄, 철망)
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작업 공간
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6 층
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공정 가스
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유량 범위
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0~300SCCM
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공정 가스 가스 경로
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두 가지 방법이 있는 표준이며 사용자 정의할 수 있습니다. 공정 가스 파이프라인은 페로플론으로 만들어졌습니다.
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나바르
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SC
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PLC
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대화식 모드
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7인치 터치스크린
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