진공 플라즈마 호스트 장치 (60)
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장비 크기
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L 950×W 900×H 1650mm
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무게
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350kg
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필요 전원
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AC380V, 50/60Hz, 5 선, 16A (전체 개방 형 C 이상)
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플라즈마 생성기 사양
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전력
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전파 주파수
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중간 주파수
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0~600W
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0-1000W
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공급 주파수
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13.56MHz (13.56MHz)
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40 K Hz
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진공 시스템
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진공 펌프
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이단 회전식 펌프 (오일 펌프): 40m3/h
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진공 파이프라인
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전체 스테인레스 라인 및 고강도 진공 벨로우즈
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재료 품질
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알루미늄 합금 (맞춤형 스테인레스 강 챔버 가능)
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두께
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25mm
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밀폐성
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군용급 용접 밀봉
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챔버 내부 치수
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375*375*430mm(폭*높이*깊이)
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전기 플레이트 유효 크기
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247*281mm(폭*깊이)
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사용 가능한 공간 간격
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22mm
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전기 도금 배열
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수평 레이아웃, 활성 추출 가능
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트레이
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표준 세트, 재료 선택 가능 (알루미늄, 강선 메시)
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작업 공간
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6 층
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공정 가스
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유량 범위
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0~300SCCM
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공정 가스 가스 경로
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표준 두 가지 방식, 맞춤형 가능. 공정 가스 파이프라인은 페로플론으로 만들어짐
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navar
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SC
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PLC
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인터랙티브 모드
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7인치 터치 스크린
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