진공 플라즈마 호스트 유닛(60) | ||||
장비 크기 | 길이 950×폭 900×높이 1650mm | |||
무게 | 350Kg | |||
수요전원 | AC380V, 50/60Hz, 5선, 16A (C이상 전개방형) | |||
플라즈마 발생기 사양 | ||||
힘 | 고주파 | 중간 주파수 | ||
0 ~ 600W | 0 - 1000W | |||
공급 주파수 | 13.56MHz | 40KHz | ||
진공 시스템 | ||||
진공 펌프 | 40단 로터리 펌프(오일 펌프): 3mXNUMX/h | |||
진공 파이프라인 | 전체 스테인레스 스틸 라인 및 고강도 진공 벨로우즈 | |||
재료 품질 | 알루미늄 합금(맞춤형 스테인레스 스틸 캐비티) | |||
두께 | 25mm | |||
견고 | 군용 용접 씰 | |||
캐비티의 내부 치수 | 375*375*430mm(폭* 높이* 깊이) | |||
전기 플레이트 유효 크기 | 247*281mm(와이드* 깊이) | |||
사용 가능한 공간 간격 | 22mm | |||
전기 도금 배열 | 수평 레이아웃, 활성 추출 가능 | |||
트레이 | 표준 세트, 재질 선택 가능(알루미늄, 철망) | |||
작업 공간 | 6 층 | |||
공정 가스 | ||||
유량 범위 | 0~300SCCM | |||
공정 가스 가스 경로 | 두 가지 방법이 있는 표준이며 사용자 정의할 수 있습니다. 공정 가스 파이프라인은 페로플론으로 만들어졌습니다. | |||
나바르 | ||||
SC | PLC | |||
대화식 모드 | 7인치 터치스크린 |
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