MDHS-AL8 8인치 전자동 단면 리소그래피 기계, 중국 MDHS-AL8 8인치 전자동 단면 리소그래피 기계 제조업체, 공급업체, 공장

여행지 설명

MDHS-AL8 8" 전자동 단면 리소그래피 기계

1. 작업 모드: 로딩 로봇이 AB(재활용) 웨이퍼 상자에서 사전 위치 지정까지 웨이퍼를 자동으로 로드합니다.

작업대 및 카메라 포지셔닝 웨이퍼 조정 및 자동 회전 시스템을 통해 웨이퍼의 사전 포지셔닝이 달성됩니다. 그런 다음 로딩 로봇은 사전 배치된 웨이퍼를 정렬 작업대에 로드합니다. 컴퓨터 이미지 인식과 자동 정렬 시스템 조정을 통해 마스크와 웨이퍼의 그래픽을 자동으로 정렬할 수 있습니다. 그래픽을 정렬하지 않고 하나의 노출을 완료하는 것도 가능합니다. 과다 노출 시스템에 의한 자동 노출 후 언로딩 로봇은 자동으로 웨이퍼를 CD(재활용) 웨이퍼 상자에 넣습니다.
2. 노출 영역: 160 × 160mm;
3. 고르지 못한 노출 조도: ≤ 3%;
4. 노출 강도: 0~≥ 40mw/cm2 조정 가능(빔 각도 2°);
5. UV 빔 각도: ≤ 3°;
6. 자외선의 중심 파장: 365nm;
7. UV 광원 수명: ≥ 20000시간;
8. 분리 용량: 조정가능한 0~≥ 1000um;
9. 정렬 정확도: ≤ ± 1.5μM;
10. 노출 정확도: 접촉 노출 ± 1μm. 20μM 빔 각도 2° ≤ ± 2μM의 근접 노출 분리
11. 노출 방법: 단단한 접촉, 부드러운 접촉, 근접 노출;
12. 노출 모드: 일회성 노출 또는 오프셋 노출 중에서 선택할 수 있습니다.
13. 사전 포지셔닝 이미지 인식 및 자동 회전 시스템(사전 포지셔닝 작업대 포함): 회전 각도 Q ≥ ± 180°, 회전 정확도 Q ≤ 0.01°;
14. 이미지 인식 및 자동 정렬 시스템(UVW 정렬 작업대 포함): 정렬 범위 XY ≥ ± 5mm, 회전 각도 Q ≥ ± 3°, 현미경의 두 렌즈는 두 개의 XYZ 전기 플랫폼으로 제어됩니다.
15. 마스크 크기: 5" × 5" 및 7" × 7";
16. 웨이퍼 크기: 4" 및 6";
17. 상부 및 하부 필름 박스 워크스테이션: 듀얼 워크스테이션;
18. 발 쿠션 에어백
19. 이중 팔 로봇 팔 로드 및 언로드: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. 웨이퍼 박스 내 웨이퍼 수: 고객의 웨이퍼 박스 내 웨이퍼 수에 따라 결정됩니다.
21. 포지셔닝 테이블 리프팅: Z ≥ ± 25mm;
22. 노출 타이밍: 0~999.9초 범위에서 조정 가능;
23. 생산 리듬: 시간당 >120개;
24. 전원 공급 장치: 단상 AC220V 50Hz, 전력 소비 ≤ 3KW;
25. 깨끗한 공기 압력: ≥ 0.4MPa;
26. 진공 정도: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. 크기: 1400*1000*2100mm;
28. 무게 : 약 400kg

본 기계는 LED 자외선 노광헤드, 영상인식 및 자동회전시스템, 사전위치작업대, 사진과 같은 인식 및 자동정렬시스템, 정렬작업대, 로딩로봇, 언로딩로봇, 랙, 전기제어장치로 구성되어 있다 , 예비 액세서리 등

스펙

1. 노출 헤드: 365개의 LED 자외선 노출 헤드(XNUMXnm);
2. 이미지 인식 및 사전 정렬 작업대:
1) 카메라 1대(1.3만 화소)
2) 센터 위치 고정 장치
3) 회전 플랫폼 1세트(서보 모터 사용)
4) 포지셔닝 시스템 1세트
3. 이미지 인식 및 자동 정렬 시스템:
1) 카메라 2대(5만 화소 하이 프레임 레이트)
2) 렌즈 2개(고화질 렌즈 4개)
3) 산업용 컴퓨터 XNUMX대
4) 컨트롤러 XNUMX개(PLC로 제어)
5) 정렬 플랫폼 5세트(XNUMX상 스테퍼 모터 사용)
6) 스포츠 시스템 세트
7) 상판 장치는 리프팅 및 하강용 모터를 채택합니다.
7) 소프트웨어는 최신 버전의 LabVIEW Professional Edition을 채택합니다.
4. 기계 팔 로딩 및 언로딩:
1) X Y. Z 자동 이동 메커니즘 세트
2) 듀얼 암 로봇팔(암 로딩 및 언로딩 암)
5. 웨이퍼 박스 고정 메커니즘:
1) AB는 공급 필름 상자의 고정 위치입니다.
2) CD는 커팅 필름 상자의 고정 위치입니다.
3) G는 NG 위치 필름 상자의 고정 위치입니다.
6. 카메라 고정 플랫폼:
7. YZ 전기 조정 메커니즘 XNUMX세트(서보 모터로 제어)
8. 랙 및 전기 제어 콘솔:
1) 산업용 컴퓨터 1대
2) PLC 한 세트;
3) 솔레노이드 밸브 및 제어 시스템 한 세트
4) 디지털 공압 기기 세트
5) 제어 콘솔 한 세트
8. 예비 부착물:
1) 기관 : 15m
2) 솔레노이드 밸브 2개
3) 진공펌프 : 1대
9. 기술 데이터:
1) 사용자 설명서 XNUMX개
2) 적합성 인증서 XNUMX부
10. 추가
장비 소프트웨어에는 SECS 통신 프로토콜이 탑재되어야 하며 구매자는 구매자의 MES 시스템과 도킹하는 기능을 갖춘 동적 라이브러리를 제공하여 제품 배치 번호, 작업 번호 및 작업 상태를 자동으로 기록하고 업로드합니다. 동시에 마스크판 QR코드를 식별하고 이를 MES 시스템의 마스크판 QR코드와 비교하여 잘못된 마스크판이 찍히는 것을 방지하는 기능을 갖고 있다.

포장 및 배달