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프로젝트
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제품 사양
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발언
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1 |
장비 개요 |
장비명 : 완전 자동 균일 접착제 현상기
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장비 모델: MD-2C2D6
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처리 웨이퍼 사양: 4/6인치 표준 웨이퍼와 호환 가능
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균일 접착제의 공정 흐름 : 꽃바구니 슬라이싱 → 센터링 → 균일 접착제 (물방울 → 균일 접착제 → 가장자리 제거, 뒷면)
세척) → 핫 플레이트 → 콜드 플레이트 → 바스켓 배치 개발 공정 흐름 : 꽃바구니 슬라이싱 → 센터링 → 개발(개발액 → 탈이온수, 역세 → 질소 건조) → 핫 플레이트 → 콜드 플레이트 → 바스켓 배치 |
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전체 크기(대략): 2100mm(W) * 1800mm(D) * 2100mm(H)
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화학 캐비닛 크기(대략): 1700(W) * 800(D) * 1600mm(H)
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총 중량(대략):1000kg
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작업대 높이: 1020 ± 50mm
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2 |
카세트 장치
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수량 : 2
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호환 크기: 4/6인치
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카세트 감지: 마이크로스위치 감지
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슬라이드 아웃 감지: 예, 반사 센서
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3 |
로봇 |
수량 : 1
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유형: 이중 암 진공 흡착 로봇
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자유도: 4축(R1, R2, Z, T)
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손가락 재질: 세라믹
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기판 고정 방식 : 진공 흡착 방식
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매핑 기능: 예
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위치 정확도: ± 0.1mm
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4 |
센터링 유닛
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수량 : 1 세트
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선택적 광학 정렬
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정렬 방법: 기계적 정렬
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센터링 정확도: ± 0.2mm
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5 |
균일한 접착제 장치 |
수량: 2세트(각 유닛별 구성은 다음과 같습니다)
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스핀들 회전 속도: -5000rpm~5000rpm
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아이들러 운반
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스핀들 회전 정확도: ± 1rpm(50rpm~5000rpm)
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스핀들 회전 속도의 최소 조정: 1rpm
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스핀들 회전의 최대 가속도: 20000rpm/s
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아이들러 운반
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떨어지는 팔: 1 세트
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포토레지스트 튜브 경로: 2개 경로
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포토레지스트 노즐 직경: 2.5mm
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포토레지스트 절연 : 23 ± 0.5 ℃
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optional
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보습 노즐: 예
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RRC: 예
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버퍼: 예, 200ml
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접착제 낙하 방법: 중앙 낙하 및 스캐닝 낙하가 선택 사항입니다.
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가장자리 제거 팔: 1 세트
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가장자리 제거 노즐 직경: 0.2mm
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가장자리 제거 액체 흐름 모니터링: 플로트 유량계
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가장자리 제거액 흐름 범위: 5-50ml/min
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역세 파이프라인: 2방향(각각 4개의 채널이 있는 6/1인치)
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역세 유량 모니터링: 플로트 유량계
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역세 유체 흐름 범위: 20-200ml/min
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칩 고정 방식 : 소면적 진공 흡착 척
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진공 압력 경보: 디지털 진공 압력 센서
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척 재질: PPS
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컵 재질: PP
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컵 배기 모니터링: 디지털 압력 센서
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6 |
현상 단위 |
셔터: 예
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수량: 2세트(각 유닛별 구성은 다음과 같습니다)
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스핀들 회전 속도: -5000rpm~5000rpm
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아이들러 운반
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스핀들 회전 정확도: ± 1rpm(50rpm~5000rpm)
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스핀들 회전 속도의 최소 조정: 1rpm
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스핀들 회전의 최대 가속도: 20000rpm/s
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아이들러 운반
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개발 팔: 1 세트
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개발 파이프라인: 2-way (부채형/기둥형 노즐)
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개발자 여과: 0.2um
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현상제 온도 조절: 23 ± 0.5 ℃
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optional
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현상액 흐름 범위: 100~1000ml/min
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현상 암의 모션 모드: 고정점 또는 스캐닝
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융합 팔: 1 세트
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순수 파이프라인: 1 회로
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탈이온수 노즐 직경: 4mm(내경)
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탈이온수 유량 범위: 100~1000ml/min
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질소 건조 파이프라인: 1 회로
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질소 노즐 직경: 4mm(내경)
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질소 흐름 범위: 5-50L/min
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현상액, 탈이온수, 질소 유량 모니터링: 플로트 유량계
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역세 파이프라인: 2방향(각각 4개의 채널이 있는 6/1인치)
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역세 유량 모니터링: 플로트 유량계
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역세 유체 흐름 범위: 20-200ml/min
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칩 고정 방식 : 소면적 진공 흡착 척
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진공 압력 경보: 디지털 진공 압력 센서
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척 재질: PPS
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척 재질: PPS
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컵 재질: PP
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컵 배기 모니터링: 디지털 압력 센서
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7 |
점착부여 단위 |
수량 : 2
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optional
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온도 범위: 실온 ~ 180 ℃
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온도 균일성: 실온~120 ℃± 0.75 ℃
120.1℃~180℃±1.5℃ (이젝터 핀 구멍을 제외하고 가장자리에서 10mm 제거) |
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최소 조정량: 0.1℃
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온도 조절 방식: PID 조정
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핀 높이 범위: 0-20mm
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PIN 재질: 본체 SUS304, PIN 핀 캡 PI
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베이킹 간격: 0.2mm
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과열 경보: 긍정적이고 부정적인 편차 경보
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공급방식 : 버블링, 10±2ml/min
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챔버 작동 진공: -5-20KPa
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8 |
핫플레이트 유닛 |
수량 : 10
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온도 범위: 실온 ~ 250 ℃
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온도 균일성: 실온~120 ℃± 0.75 ℃
120.1℃~180℃ ±1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (이젝터 핀 구멍을 제외하고 가장자리에서 10mm 제거) |
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최소 조정량 : 0.1 ℃
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온도 조절 방식: PID 조정
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핀 높이 범위: 0-20mm
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PIN 재질: 본체 SUS304, PIN 핀 캡 PI
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베이킹 간격: 0.2mm
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과열 경보: 긍정적이고 부정적인 편차 경보
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9 |
냉각판 장치
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수량 : 2
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온도 범위: 15-25℃
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냉각 방식: 항온 순환 펌프 냉각
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10 |
화학물질 공급 |
포토레지스트 저장: 공압 접착제 펌프 * 4 세트(옵션 탱크 또는 전기 접착제 펌프)
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접착제 분배량: 세션당 최대 12ml, 정확도 ± 0.2ml
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모서리 제거/역세척/RRC공급 : 18L 압력탱크*2(자동보충)
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가장자리 제거/역세척/RRC 액위 모니터링: 광전 센서
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포토레지스트 액위 모니터링: 광전 센서
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균일한 접착폐액 배출 : 10L 폐액탱크
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개발자 공급: 18L 압력 탱크 * 4(기계 외부의 화학 캐비닛에 보관됨)
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탈이온수 공급: 공장 직접 공급
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액체 레벨 모니터링 개발: 광전 센서
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개발자 폐기물 배출 : 공장 폐기물 배출
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점착제 공급 : 10L 압력 탱크 * 1, 2L 압력 탱크 * 1
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점착제 레벨 모니터링: 광전 센서
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11 |
제어 시스템 |
제어 방법: PLC
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인간 기계 조작 인터페이스: 17인치 터치스크린
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무정전 전원 공급 장치(UPS): 예
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장치 운영자, 기술자, 관리자에 대한 암호화 권한 설정
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신호등 종류 : 적색, 황색, 녹색 3색
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12 |
시스템 신뢰성 지표
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가동 시간: ≥95%
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MTBF: ≥ 500h
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MTTR: 4시간 이하
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MTBA: ≥24시간
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조각화 속도: ≤ 1/10000
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13 |
다른 기능
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황색등: 4세트(위치: 접착제 혼합 및 현상 장치 위)
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THC: 그렇습니다, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%
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optional
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FFU: Class 100, 5set(프로세스 유닛 및 ROBOT 영역)
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저작권 © 광저우 마인더 하이테크 주식회사 모든 권리 보유
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
아니
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
