MDSY-BC6076 웨이퍼 레벨 볼 교정 시스템, 중국 MDSY-BC6076 웨이퍼 레벨 볼 교정 시스템 제조업체, 공급업체, 공장

여행지 설명

웨이퍼 레벨 볼 보정 시스템 MDSY-BC6076

무대 크기	8, 12[인치]	최대 300x300[mm]
공 크기	Ф50[um]~ Ф300[μm]
최소 공 피치	90[um](Ф50[um] 볼)
정렬 정확도	+15[음]
크기	3,065W x 1,700D x 1,650H[mm]
무게	대략. 2,900[kg]
로더/언로더	오픈카세트, FOUP	사용자 정의

볼 헤드 제외:
진공과 회전을 통해 웨이퍼에서 비정상적인 위치의 볼을 제거합니다.
볼의 흡입 상태는 볼 직경이 다른 유량계의 아날로그 분석을 위해 유량계를 통해 감지됩니다.
다양한 유속은 볼 직경의 다양한 흡입 상태에 맞게 조정됩니다.
잔여 볼 청소 메커니즘: 브러시로 문지르면 흡수된 볼을 모아 재활용할 수 있습니다.

특색

1. 적용 가능한 웨이퍼: 12'' 웨이퍼 & 8'' 웨이퍼
2. 택트타임
검사 시간: 0.55[초/시야]
수리 시간 : 2.8 [sec/ball] (Flux 이송 포함)
3. 볼 사이즈 / 피치 : Φ60/100(Min)~ Φ300 [um]
4. 장착정도 : ±15[um]이하

포장 및 배달