와퍼 크기 |
8, 12 인치 웨이퍼 |
공 크기 |
φ60um~Φ760um |
최소 공 피치 |
100um(Φ60um 공) |
정렬 정확도 |
±25um |
치수 |
3,595W x1,685D x1,650H [mm] |
무게 |
2,600[kg] |
로더, 언로더 |
오픈 카세트, FOSB, FOUP |
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