MDXN-25X 고정밀 단면 리소그래피 기계, 중국 MDXN-25X 고정밀 단면 리소그래피 기계 제조업체, 공급업체, 공장

여행지 설명

본 장비는 각종 대학, 연구기관의 노광기의 사용 특성을 위해 당사에서 특별히 개발한 정밀 노광기입니다. 주로 중소형 집적 회로, 반도체 부품, 광전자 장치 및 표면탄성파 장치의 개발 및 생산에 사용됩니다.

스펙

주요 기술 매개 변수

1. 장치는 플레이트 두께(5~5mm 범위)에 대한 특별한 요구 사항 없이 1"X3" 정사각형 마스크를 진공 흡착할 수 있습니다.
2. 장치는 100mm 원형 기판에 적용할 수 있습니다.
3. 기판 두께 ≤ 5mm;
4. 조명 :
광원 : GCQ350Z 초고압 수은직류 수은램프를 사용합니다.
조명 범위: ≤ ф 117mm 노출 영역: ф 100mm
ф 100mm 범위 내에서 노출의 불균일성은 ≤ ± 3%이고 노출 강도는 >6mw/cm2입니다(이 표시기는 UV 광원 I-라인 365nm를 사용하여 측정됩니다).
5. 이 장치는 공압 셔터를 제어하기 위해 가져온 시간 릴레이를 채택하여 정확하고 안정적인 작동을 보장합니다.
6. 이 기계는 다음을 달성할 수 있는 접촉 노출 기계입니다.
7. 단단한 접촉 노출: 파이프라인 진공을 사용하여 높은 진공 접촉, 진공 ≤ -0.05MPa를 얻습니다.
8. 소프트 접촉 노출: 접촉 압력은 진공을 -0.02MPa에서 -0.05MPa 사이로 높일 수 있습니다.
9. 미세 접촉 노출: 부드러운 접촉 미만, 진공 ≥ -0.02MPa.
10. 노출 해상도: 이 장치의 단단한 접촉 노출 해상도는 m 이상 1 μ에 도달할 수 있습니다(사용자의 "플레이트" 및 "칩"의 정확도는 국가 규정을 준수해야 하며 환경, 온도, 습도 및 먼지 캔 수입 포지티브 포토레지스트를 사용하고, 균일한 포토레지스트의 두께도 엄격하게 제어할 수 있습니다.
11. 정렬: 관찰 시스템은 두 개의 단일 튜브 현미경에 장착되고 비디오 케이블을 통해 디스플레이 화면에 연결된 두 개의 CCD 카메라로 구성됩니다.

포장 및 배달