MDXN-31D2 마스크 정렬기 , China MDXN-31D2 마스크 정렬기 Manufacturers, Suppliers, Factory

제품 설명

주로 소형 및 중형 통합 회로, 반도체 부품, 광전자 장치, 표면 음파 장치, 박막 회로 및 전력 전자 장치의 개발 및 생산에 사용됩니다. 이 기계는 양쪽 면 접촉 노광 기계로, 특별히 설계된 재인쇄 메커니즘이 기판의-wedge 오차를 제거하고 기판 상하부의 상하 마스크 판 사이의 좋은 접촉을 보장하여 기판 상하부의 노광 품질을 보장합니다.

사양

주요 기술 매개 변수

1.설비에 필요한 에너지: 본체 전원: 220V, 50HZ, 전력 소비≤1.5KW;
2.220V 전원 공급 장치를 갖춘 진공 펌프가 장착됨;
3.크기 및 무게: 크기:1200(길이)×720(폭)×1500(높이). 무게 ≤170kg;
4.기계 본체를 전용 작업대에 놓으세요;
5.노광 방식: 접촉 방식, 판 정렬, 양면 노광;
6.노광 영역:φ100mm;
7.노광 불균일성: ≤±3%;
8.노광 강도: ≥5mw/ cm2;
9. 노광 해상도: 2μm;
10. 노광 모드: 양쪽면 동시 노광;
11. 정렬 범위: X: ±5mm Y:±5mm;
12. 조각 정확도: 2μm;
13. 회전 범위: Q-방향 회전 조정≤±5°;
14. 현미경 시스템: 이중 시야각 CCD 시스템, 물렌즈 1.6X~10X, 컴퓨터 영상 처리 시스템, 19"LCD 모니터;
15. 마스크 크기: 진공 흡착 가능

포장 및 배송