MDXN-31D2 마스크 정렬기, 중국 MDXN-31D2 마스크 정렬기 제조업체, 공급업체, 공장

여행지 설명

주로 중소형 집적 회로, 반도체 부품, 광전자 장치, 표면 탄성파 장치, 박막 회로 및 전력 전자 장치의 개발 및 생산에 사용됩니다. 이 기계는 양면 접촉 노광기로서, 기판 웨지 오류를 제거하고 기판의 상부 및 하부 측면에 있는 상부 및 하부 마스크 플레이트 사이의 양호한 접촉을 보장하여 노광 품질을 보장할 수 있는 특별히 설계된 재인쇄 메커니즘을 갖춘 양면 접촉 노광기입니다. 기판의 윗면과 아랫면.

스펙

주요 기술 매개 변수

1. 장비에 필요한 에너지: 메인프레임 전원 공급 장치: 220V, 50HZ, 전력 소비 ≤1.5KW;
2. 220V 전원 공급 장치를 갖춘 진공 펌프가 장착되어 있습니다.
3. 크기 및 무게: 크기: 1200(길이)×720(너비)×1500(높이). 무게 ≤170kg;
4. 전용 작업대에 기계 본체를 놓습니다.
5.노출 유형: 접촉 유형, 플레이트 정렬, 양면 노출;
6. 노출 영역: Φ100mm;
7. 고르지 못한 노출: ≤±3%;
8. 노출 강도: ≥5mw/cm2;
9. 노출 해상도: 2μm;
10.노출 모드: 양면 동시 노출;
11. 정렬 범위: X: ±5mm Y: ±5mm;
12.조각 정확도: 2μm;
13.회전 범위: Q 방향 회전 조정 ≤±5°;
14.현미경 시스템: 이중 시야 CCD 시스템, 대물 렌즈 1.6X~10X, 컴퓨터 이미지 처리 시스템, 19"LCD 모니터;
15. 마스크 크기 : 진공 흡착 가능

포장 및 배달