모델 | MDWX-WI8100 |
로더 | Minder-Hightech |
광학 시스템 | Minder-Hightech |
소프트웨어 기능 | 결함 맵 좌표 읽기 (KLA, Camtek 등 대응), 자동 정렬 |
결함 맵 정보 필터링 및 자동 촬영, 아카이빙 | |
자동 이미지 측정: CD, Overlay | |
결함 맵 이미지 데이터베이스 | |
자동 빛 조절 시스템/자동 이미지 카메라 기능/자동 위치 측정 |
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