진공 플라즈마 호스트 |
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장비 크기 |
1230X1800X1100mm (폭 x 높이 x 깊이) |
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무게 |
450kg |
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전력 수요 |
AC380V, 50/60Hz, 5선, 30A |
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플라즈마 생성기 사양 |
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전자레인지 전원 공급 장치 |
전력 |
0~1250W |
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주파수 |
2.45GHz |
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진공 시스템 |
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재료 |
알루미늄 합금 (맞춤형 스테인리스 챔버 가능) |
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두께 |
25mm |
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챔버 내부 치수 |
480mmX470mmX480mm |
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작업 공간 |
6 매거진 구역 |
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ECR |
슬롯 매거진이 ECR 강화 처리 효과를 제공합니다 |
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플라즈마 기능 |
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처리 능력 |
35마이크론 피치 40μm 범프 15X15mm 최대 다이 크기 |
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