모델 | MDAM-CMP100 | MDAM-CMP150 | |
웨이퍼 크기 | 4인치 이하 | 6인치 이하 | |
작업판 직경 | 420mm | 420mm | |
역 | ≤ 4 | ≤ 2 | |
피드 포트 | ≤ 3 | ||
전원 공급 장치 | 220V、10A | ||
타이밍 | 0 - 10h | ||
환경 온도 | 20 ℃ ~ 35 ℃ | ||
플레이트 속도 | X | ||
고정율 | X |
샘플 고정 시스템 구성 요소 | 클램프, 롤러암 |
래핑 공정 조립 | 래핑 플레이트, 플레이트 수리 블록, 실린더 |
연마 공정 조립 | 연마액 공급 시스템 및 연마판 |
검출 구성요소 | 테스트 벤치마크 플랫폼, 평탄도 시험기, 압력 시험 게이지 |
웨이퍼 래핑 및 연마재 패키지 | 래핑파우더, 연마액, 연마포, 왁스, 탈왁스액, 유리기판시트 |
저작권 © 광저우 마인더 하이테크 주식회사 모든 권리 보유