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반도체 소재용 정밀 연삭 및 연마기

여행지 설명

장비 개요:

MDAM-CMP100/150 연삭 및 연마기는 반도체 재료 및 광전자 재료와 같은 응용 분야를 포괄하는 정밀 연삭 및 연마 장비입니다. 주로 실리콘, 이산화규소, 안티모나이드 인듐 초점 평면 칩과 같은 주요 반도체 재료 칩의 연삭 및 박막화와 바닥, 표면 및 단면의 화학 기계적 연마에 사용됩니다. 전체 장비와 모든 구성 요소는 완전히 부식 방지 처리를 거쳤으며, 터치 스크린 대화형 인터페이스를 통해 프로세스 매개 변수를 설정할 수 있습니다. 과학적이고 합리적인 설계, 고급 성능, 높은 수준의 자동화, 편리한 작동, 편리한 유지 관리 및 강력한 신뢰성, 샘플 기판 접합, 연삭 박막화, 화학 기계적 연마 및 사전 및 사후 감지 프로세스 간의 연결이 합리적이어서 장비의 각 기능의 처리 치수가 일관되도록 보장합니다. 다양한 하드웨어 및 소모품을 구성하여 다양한 재료 및 사용자 크기와 같은 다양한 기술적 요구 사항을 충족하는 여러 기계 구성 및 프로세스 솔루션을 달성할 수 있습니다.
반도체 기술의 급속한 발전으로 집적 회로의 성능과 기능적 요구 사항이 계속 증가하고 있습니다. TSV(Through Silicon Via) 및 TGV(Through Glass Via) 기술은 고급 패키징 및 상호 연결 기술로서 칩의 통합 및 성능을 효과적으로 개선할 수 있습니다. 이 장치는 TSV/TGV 기술을 구현하기 위한 고유한 공정 계획을 가지고 있습니다.

장비 장점 :

* 독립적이고 이동 가능한 터치 운영 체제;
* 칩 단면 연삭 및 연마, 특수 각도 가공을 구현합니다.
* 100개의 프로세스 메뉴를 저장할 수 있습니다.
* 엔드포인트 감지 EPD 기능;
* 3채널 공급 시스템으로 옵션으로 증가 가능
* 6인치 이하의 샘플 크기에 적합합니다.

장비 기능:

MDAM-CMP100/150 정밀 연삭 및 연마기, 메인 유닛 및 모든 예비 부품은 내식성이 뛰어난 소재로 제작되었습니다. 전체 기계는 내식성, 안정성, 내마모성 및 내식성이 뛰어나 다양한 반도체 소재의 화학 기계적 연삭 및 연마에 적합합니다. 작업 공간은 디스플레이 제어 영역과 분리되어 있으며 터치 스크린 제어 시스템을 사용하여 디지털 방식으로 제어됩니다. CNC 제어, 저장 및 검색이 가능합니다.
장치 시스템은 10시간 동안 연속 작동하고 연마 디스크의 속도를 제어할 수 있는 타이밍 기능이 있습니다. 제어판은 연마 용액이 제어판에 튀는 것을 방지하기 위해 작업 영역 외부에 배치됩니다. 호스트의 모든 매개변수는 터치 스크린에서 조정할 수 있습니다. 호스트 프로세스 매개변수에는 프로세스의 일관성과 반복성을 보장하기 위한 저장 및 검색 기능이 있습니다. 웨이퍼 샘플은 진공 펌핑을 통해 고정구의 바닥 표면에 흡착되며 오일 프리 진공 펌프가 장착되어 있으며 독립적인 역방향 흡입 방지 기능이 있습니다.
고정 구성 샘플 수평 회전 구동 시스템은 스윙 기능이 있으며, 스윙 범위는 0-100%로 조정 가능합니다. 스윙 진폭과 주파수 속도는 제어판을 통해 정확하게 설정할 수 있습니다. 고정 장치는 회전을 위한 독립적인 구동 시스템을 갖추고 있으며, 조정 가능한 속도 범위는 0-120rpm입니다. 이 기능적 설계는 연삭 및 연마 공정 중에 샘플의 완전한 스윙 연마를 보장하여 장비의 연마 용량과 효율성을 크게 향상시킵니다.
이 고정장치는 모니터링 정확도가 1μm인 디지털 두께 모니터링 테이블을 갖추고 있습니다. 웨이퍼 샘플에 대한 고정장치의 압력은 지속적으로 조정 가능하며, 압력 범위는 0-3.5kg이고 정확도는 2g/cm²이며 압력 측정 장치가 장착되어 있습니다.
연삭 및 연마 디스크의 작동은 메인 드라이브에 의해 제어되며 디스크 속도는 분당 0~120회전으로 조정할 수 있습니다. 이 속도 변화 범위는 다양한 경도와 크기의 재료의 연삭 및 연마 샘플 속도를 효과적으로 보장하여 더 높은 공정 지표를 달성합니다. 연삭 디스크 및 연마 디스크의 교체는 간단하고 빠르며, 내장된 디스크를 통해 장비가 연삭에서 연마 공정으로 빠르게 전환하여 공정 시간을 크게 단축할 수 있습니다. 그리고 연삭 디스크에는 디스크 수리 블록이 장착되어 연삭 디스크의 평탄도가 양호합니다.

제목은 여기에 있습니다.

기계를 만드는 반자동 애완 동물 병 부는 기계 병 병 성형 기계 기계를 만드는 애완 동물 병은 모든 모양에 있는 애완 동물 플라스틱 용기 그리고 병 생성을 위해 적당합니다.
스펙
모델
MDAM-CMP100
MDAM-CMP150
웨이퍼 크기
4인치 이하
6인치 이하
작업판 직경
420mm
420mm
≤ 4
≤ 2
피드 포트
≤ 3
전원 공급 장치
220V、10A
타이밍
0 - 10h
환경 온도
20 ℃ ~ 35 ℃
플레이트 속도
X
고정율
X
샘플 고정 시스템 구성 요소
클램프, 롤러암
래핑 공정 조립
래핑 플레이트, 플레이트 수리 블록, 실린더
연마 공정 조립
연마액 공급 시스템 및 연마판
검출 구성요소
테스트 벤치마크 플랫폼, 평탄도 시험기, 압력 ​​시험 게이지
웨이퍼 래핑 및 연마재 패키지
래핑파우더, 연마액, 연마포, 왁스, 탈왁스액, 유리기판시트
포장 및 배달
회사 소개
Minder-Hightech는 반도체 및 전자 제품 산업 장비의 영업 및 서비스 담당자입니다. 2014년부터 이 회사는 고객에게 기계 장비에 대한 우수하고 신뢰할 수 있는 원스톱 솔루션을 제공하기 위해 노력하고 있습니다.
자주 하는 질문
1. 가격에 관하여:
모든 가격은 경쟁력이 있으며 협상 가능합니다. 가격은 장치의 구성 및 사용자 정의 복잡성에 따라 다릅니다.

2. 샘플에 관하여:
저희는 귀사를 위해 샘플 제작 서비스를 제공해 드릴 수 있지만, 일부 수수료는 귀하가 지불해야 할 수 있습니다.

3. 지불에 관하여:
계획이 확정되면 먼저 보증금을 지불해야 하며 공장에서 상품 준비를 시작합니다.
장비가 준비되었고 잔금을 지불하시면 해당 장비를 배송해 드립니다.

4. 배송에 관하여:
장비 제작이 완료되면 인수 영상을 보내드리고, 고객께서도 현장에 오셔서 장비를 검사하실 수 있습니다.

5. 설치 및 디버깅:
장비가 귀사 공장에 도착하면 엔지니어를 파견하여 장비를 설치하고 디버깅할 수 있습니다. 이 서비스 요금에 대한 별도 견적을 제공해 드립니다.

6. 보증에 관하여:
당사 장비는 12개월 보증 기간이 있습니다. 보증 기간 이후에 부품이 손상되어 교체해야 하는 경우, 원가만 청구합니다.

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