항목 | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
제품 크기 | 6인치 이하 | 8인치 이하 | 8인치 이하 | ||
RF 전원 | 0-300W/500W/1000W 조정 가능, 자동 매칭 | ||||
분자펌프 | -/620(L/s)/1300(L/s)/커스텀 | 방부제620(L/s)/1300(L/s)/커스텀 | |||
포어라인 펌프 | 기계식 펌프/건식 펌프 | 건식펌프 | |||
공정 압력 | 제어되지 않은 압력/0-1Torr 제어된 압력 | ||||
가스 종류 | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/맞춤형 (최대 9채널, 부식성, 유독성 가스 없음) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
가스 레인지 | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
로드락 | 예 아니오 | 가능 | |||
샘플 온도 제어 | 10°C~실온/-30°C~100°C/맞춤형 | -30°C~100°C /관례 | |||
후면 헬륨 냉각 | 예 아니오 | 가능 | |||
공정 캐비티 라이닝 | 예 아니오 | 가능 | |||
캐비티 벽 온도 제어 | 없음/룸템~60/120°C | 실내 온도-60/120°C | |||
제어 시스템 | 자동/맞춤형 | ||||
에칭재료 | 실리콘 기반: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC 자성재료/합금재료 금속 재료: Ni/Cr/Al/Au. 유기 재료: PR/PMMA/HDMS/유기 필름. | 실리콘 기반: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI(注3): CdTe. 자성재료/합금재료 금속 재료: Ni/Cr/A1/Au. 유기 재료: PR/PMMA/HDMS/유기 필름. | |||
전자레인지 기기, 전력기기 등에 적합합니다.
Minder-High-tech 반응성 이온 에칭(RIE) 장비는 다양한 유형의 재료를 놀라운 정밀도로 에칭하고 분석할 수 있는 최첨단 기술입니다. 이 기계는 미세 가공이나 에칭이 정기적으로 필요한 다양한 산업 분야에서 사용하도록 설계되었습니다. 내구성이 뛰어나고 신뢰할 수 있으며 탁월한 결과를 얻을 수 있는 고품질 소재로 제작되었습니다.
RF 플라즈마 발생 장치를 장착하면 효과적입니다. RIE 시스템은 유도성 커플링을 사용하여 공급 가솔린에서 플라즈마를 생성합니다. 이 기술은 제품과 관련된 에칭 속도를 증가시키는 고밀도 플라즈마를 생성합니다. RIE 기계의 에칭 공정은 효과적이고 정확하며 고도로 제어 가능하여 특정 깊이를 달성할 수 있습니다. 이 기능은 독특하며 연구 또는 산업 작업에 탁월한 선택입니다.
기계의 범위는 마이크로일렉트로닉스, MEMS 제조, 반도체 제조 등 다양합니다. 이 기계는 반도체 산업에서 실리콘, 갈륨비소, 게르마늄과 같은 반도체 재료의 에칭 및 미세 가공에 중요한 역할을 합니다. Minder-High-tech RIE 장치는 MEMS 산업에서 폴리이미드, 이산화규소, 질화규소와 같이 단단한 재료와 부드러운 재료를 제조하기 위해 추가로 확립되었습니다. 또한 전자 서비스 및 제품과 관련된 산업의 고장 분석에도 액세스할 수 있습니다.
다양한 기능을 포함하여 쉽게 활용할 수 있습니다. 사용자 친화적인 소프트웨어로 작업자가 장치에서 사용되는 에칭 매개변수를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 기계 설정은 내부 메모리에 저장되며 100개 이상의 설정 세트를 저장할 수 있습니다. 운영자가 가스 이동, 전력 두께 및 압력과 같은 매개변수를 설정할 수 있는 화면을 터치하면 됩니다. Minder-High-tech RIE 기계에는 재료가 적절한 온도에서 에칭되도록 보장하고 재료 손상을 방지하는 온도 제어 기능도 있습니다.
정확하고 정밀한 결과를 제공할 수 있는 안정적이고 효율적인 기계가 필요한 기업에 적합합니다. 이 장치는 최고의 기술로 설계되었으며 수준이 매우 높습니다. 다재다능함과 사용자 친화적인 기능으로 인해 다양한 분야에 걸쳐 매우 우수한 연구 및 산업 응용 분야로 선택되었습니다.
또한 기계가 기계적 문제를 최대한 빨리 감지하고 수정할 수 있는 효율적인 오류 분석 시스템도 갖추고 있습니다. 이 시스템은 RIE 기계가 수명 주기 동안 높은 품질과 신뢰성을 유지하도록 보장합니다. 정확하고 효율적인 에칭 또는 미세 가공이 필요한 모든 산업에 Minder-High-tech RIE 기계는 완벽한 솔루션입니다.
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