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  • RTP 장비 복합 반도체 SlC LED MEMS용 빠른 열 처리
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RTP 장비 복합 반도체 SlC LED MEMS용 빠른 열 처리

제품 설명

빠른 열 처리

복합 반도체, SlC, LED 및 MEMS용 RTP 장비
* 산화물, 질화물 성장
* 오믹 접점 빠른 합금
* 실리사이드 합금의 담금질
* 산화물 재순환
* 갈륨 아르세나이드 공정
* 기타 빠른 열처리 공정
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS factory
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS manufacture
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS manufacture
특징

완전 자동 듀얼 챔버 RTP

* 6-8인치 웨이퍼와 호환 가능
* 최대 온도는 1250°c까지 도달 가능
* 안정적인 온도 재현성
* 생산 능력 향상을 위한 완전 자동 듀얼 챔버 설계
* 초고온 필드의 균일성
* SlC 대량 생산 공정 수요 충족
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS manufacture
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS supplier

반자동 RTP

* 적외선 할로겐 램프 튜브 가열, 공기 냉각을 사용한 냉각;
* 램프 전력에 대한 PlD 온도 제어로 온도 상승을 정확히 제어하고 좋은 재현성과 온도 균일성을 보장함;
* 물질의 입구는 WAFER 표면에 설정되어 앤닐링 과정 중 차가운 점 생성을 방지하고 제품의 좋은 온도 균일성을 보장함;
* 대기 및 진공 처리 방법 모두 선택할 수 있으며, 본체의 사전 처리 및 정화 가능;
* 두 세트의 공정 가스는 표준이며 최대 6세트의 공정 가스까지 확장 가능함;
* 측정 가능한 단일結晶 실리콘 샘플의 최대 크기는 12인치(300x300MM);
* 안전 온도 개방 보호, 온도 조절기 개방 허가 보호, 장비 응급 정지 안전 보호의 세 가지 안전 조치가 완전히 구현되어 기기의 안전을 보장함;
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS supplier
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS details

데스크탑 RTP

* 적외선 할로겐 램프 튜브 가열, 공기 냉각을 사용한 냉각;
* 램프 전력에 대한 PlD 온도 제어로 온도 상승을 정확히 제어하고 좋은 재현성과 온도 균일성을 보장함;
* 물질의 입구는 WAFER 표면에 설정되어 앤닐링 과정 중 차가운 점 생성을 방지하고 제품의 좋은 온도 균일성을 보장함;
* 대기 및 진공 처리 방법 모두 선택할 수 있으며, 본체의 사전 처리 및 정화 가능;
* 두 세트의 공정 가스는 표준이며 최대 6세트의 공정 가스까지 확장 가능함;
* 측정 가능한 단일結晶 실리콘 샘플의 최대 크기는 12인치(300x300MM);
* 안전 온도 개방 보호, 온도 조절기 개방 허가 보호, 장비 응급 정지 안전 보호의 세 가지 안전 조치가 완전히 구현되어 기기의 안전을 보장함;
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS supplier
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설비 세부 사항
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RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS details
포장 및 배송
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS factory
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회사 소개
우리는 장비 판매 분야에서 16년의 경험이 있으며, 귀하에게 일괄적인 IC 패키지 라인 장비 솔루션을 제공할 수 있습니다!
RTP equipment Rapid Thermal Processing for compound semiconductor SlC LED MEMS factory
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