분쇄 가능한 웨이퍼
|
크기
|
인치
|
4,5,6,8
|
문지르는 방법
|
-
|
수직 플런지 연삭 방법
|
|
연삭 휠 스핀들
|
유형
|
-
|
에어베어링
|
수량
|
-
|
1
|
|
속도
|
RPM
|
0 ~ 5000
|
|
출력 전력
|
Kw
|
5.5/7.5
|
|
행정
|
mm
|
150
|
|
이송 속도
|
음/초
|
0.01 ~ 100
|
|
빨리 감기 속도
|
mm / 분
|
300
|
|
분해능
|
um
|
0.1
|
|
공작물 축
|
타입
|
-
|
볼 베어링
|
수량
|
-
|
1
|
|
속도
|
RPM
|
0 ~ 300
|
|
출력
|
kw
|
0.75
|
|
흡입 컵 유형
|
-
|
미세다공성 세라믹
|
|
웨이퍼 흡입 방식
|
-
|
진공 흡착
|
|
웨이퍼 전송
|
-
|
Manual
|
|
다른 기능
|
웨이퍼 센터링
|
-
|
-
|
웨이퍼 세정
|
-
|
-
|
|
흡입컵 세척
|
-
|
-
|
|
그라인딩 휠
|
mm
|
Φ200
|
|
배우기
측량 |
측정 범위
|
um
|
0 ~ 1800
|
분해능
|
um
|
0.1
|
|
반복 정밀도
|
um
|
± 0.5
|
|
금형/기계공작
|
웨이퍼 내부 정확도(TTV)
|
um
|
≤ 2
|
웨이퍼 간 정확도(WTW)
|
um
|
± 3
|
|
표면 거칠기(Ry)
|
um
|
0.1(2000#완료)
|
|
외관
|
외관 색상
|
um
|
오렌지 패턴
|
차원 (W × D × H)
|
mm
|
690 1720 × × 1780
|
|
무게
|
kg
|
1400
|
분쇄 가능한 웨이퍼
|
크기
|
인치
|
6,8,12
|
문지르는 방법
|
-
|
수직 플런지 연삭 방법
|
|
연삭 휠 스핀들
|
유형
|
-
|
에어베어링
|
수량
|
-
|
1
|
|
속도
|
RPM
|
0 ~ 5000
|
|
출력 전력
|
Kw
|
5.5/7.5
|
|
행정
|
mm
|
150
|
|
이송 속도
|
음/초
|
0.01 ~ 100
|
|
빨리 감기 속도
|
mm / 분
|
300
|
|
분해능
|
um
|
0.1
|
|
공작물 축
|
타입
|
-
|
볼 베어링
|
수량
|
-
|
1
|
|
속도
|
RPM
|
0 ~ 300
|
|
흡입 컵 유형
|
-
|
미세다공성 세라믹
|
|
웨이퍼 흡입 방식
|
-
|
진공 흡착
|
|
웨이퍼 전송
|
-
|
Manual
|
|
다른 기능
|
웨이퍼 센터링
|
-
|
-
|
웨이퍼 세정
|
-
|
-
|
|
흡입컵 세척
|
-
|
-
|
|
그라인딩 휠
|
mm
|
Φ300
|
|
배우기
측량 |
측정 범위
|
um
|
0 ~ 1800
|
분해능
|
um
|
0.1
|
|
반복 정밀도
|
um
|
± 0.5
|
|
금형/기계공작
|
웨이퍼 내부 정확도(TTV)
|
um
|
≤ 3
|
웨이퍼 간 정확도(WTW)
|
um
|
± 3
|
|
표면 거칠기(Ry)
|
um
|
0.13(2000#완료)
|
|
외관
|
외관 색상
|
um
|
오렌지 패턴
|
차원 (W × D × H)
|
mm
|
790 2170 × × 1830
|
|
무게
|
kg
|
1800
|
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