장비의 전체 크기:
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1260x1580x1960(mm)
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장비의 전체 무게:
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1500kg
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전압:
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220V
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축 반복 위치 정확도:
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±1um
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SMT 정확도 (표준 블록):
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±1.5um
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표면 실장 각도 정확도 (표준 블록):
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+0.15°
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칩 크기:
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0.2~10mm
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전원:
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8 KW
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공기 압력:
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0.4~0.6MP
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고체結晶 압력:
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20g
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각도 해상도 정확도:
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사0.001°~700g
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