공기 흡입구(크기) |
공기 흡입구(크기) |
디엔에이케이에프25 |
감지 모드 |
감지 모드 |
진공 및 총 흡입 모드 |
감지 가능한 최소 누출률 |
감지 가능한 최소 누출률 |
진공 모드:3×10-13Pa·m3/s; 총 흡입 모드: 1×10-9Pa·m3/s |
가스 감지 |
가스 감지 |
헬륨4/헬륨2/헬륨3 |
누설률 표시 범위 |
누설률 표시 범위 |
1×10-1Pa·m3/s~1×10-13Pa·m3/s |
시작 시간 |
시작 시간 |
≤100S |
응답 시간 |
응답 시간 |
<0.3초 |
누출 감지 포트의 최대 압력 |
누출 감지 포트의 최대 압력 |
2000Pa |
프런트 스테이지 펌프 펌핑 속도 |
프런트 스테이지 펌프 펌핑 속도 |
10m3 / H |
표시 단위 |
표시 단위 |
Pa·m3/s、mbar·l/s、atm·cc/s、ppm |
입력 / 출력 인터페이스 |
입력 / 출력 인터페이스 |
RS-232/485、USB、외부 제어 입출력 아날로그 출력 인터페이스 |
디스플레이 인터페이스 |
디스플레이 인터페이스 |
곡선 차트, 히스토그램, 숫자 표시 |
외부 치수 |
외부 치수 |
620(폭)*370(깊이)*1027(높이) |
디스플레이 모드 |
디스플레이 모드 |
LCD 터치 스크린 디스플레이, 알람 값 4세트 사전 설정 가능; 360도 회전 가능 |
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