프로젝트 |
내용 |
제품 유형 |
6", 8", 12" 웨이퍼, 2.5D/3D 패키징 |
2D 검사 항목 |
이물질, 접착제 잔여물, 입자, 긁힘, 균열, 오염, CP 편차, 과도한 바늘 자국 등. |
2D 계측 |
범프 직경, 바늘 자국 좌표, RDL 및 TSV 계측 등 |
3D 검사 프로젝트 |
범프 높이, 범프 동일 평면성 |
카세트 및 전송 방식 |
8"SMIF, 12" FOUP 또는 조합 |
렌즈 및 해상도 |
2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um) |
Precision |
0.55um/픽셀 |
선택 사항 및 사용자 정의 |
양면 OCR, 3D 모듈, E84 지원 |
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