프로젝트
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내용
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제품 유형
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6", 8", 12" 웨이퍼, 2.5D/3D 패키징
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2D 검사
항목 |
이물질, 접착제 잔여물, 입자, 긁힘, 균열, 오염, CP 편차, 과도한 바늘 자국 등.
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2D 계측
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범프 직경, 바늘 자국 좌표, RDL 및 TSV 계측 등
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3D 검사 프로젝트
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범프 높이, 범프 동일 평면성
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카세트 및 전송 방식
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8"SMIF, 12" FOUP 또는 조합
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렌즈 및 해상도
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2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um)
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Precision
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0.55um/픽셀
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선택 사항 및 사용자 정의
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양면 OCR, 3D 모듈, E84 지원
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