모델 |
MDS-UC08 |
MDS-UC12 |
MDHYS82 |
MDHYS122 |
웨이퍼 최대 크기 |
6’’&8’’ |
12” |
6’’&8’’ |
12” |
광원 |
LED 램프, 파장 365nm, 광 강도 ≥ 1000mJ/cm2 |
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막 유형 |
자외선 막 |
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램프 수명 |
10000h |
10000h |
20000H |
20000H |
전원 공급 장치 |
AC220V,5A |
AC220V,5A |
AC220V,6A |
AC220V,6A |
전체 차원 W*D*H |
650mm*420mm*250mm |
570mm*630mm*340mm |
780mm*620mm*295mm |
930mm*790mm*350mm |
무게 |
30KG |
60kg |
55kg |
75kg |
기능적 특징 |
수동 웨이퍼 로딩 및 언로딩 방사 시간은 임의로 설정할 수 있음 냉각 팬 장착 원 클릭 작동으로 편리하고 빠름 장비에 자가 보호 기능이 있음 요구에 따라 맞춤형 제작 가능 |
수동 웨이퍼 로딩 및 언로딩 방사 시간은 임의로 설정할 수 있음 냉각 팬 장착 선택적 질소 충전 기능 선택적 내장형 UV 에너지 센서 요구에 따라 맞춤형 제작 가능 |
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