기술 매개 변수 |
측정 모드 |
PSI/VSI/슈퍼 심도 필드/명장 |
단일 측정 시야 (20× 물경) |
500*350μm (자동 스티칭) |
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각도 조절 |
±12° 수동 |
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Z축 조정 |
20mm 전동 + 50mm 수동 (조밀 및 조정 메커니즘) |
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종방향 스캐닝 범위 |
0~10mm |
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종방향 해상도 |
<0.2nm |
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종방향 거칠기 측정의 반복성 |
0.01nm (PSI 모드) |
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계단 높이 표시 오차 측정 |
<0.75% (VSI 모드) |
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횡방향 해상도: @550nm |
0.69μm (20× 물경) |
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측정 가능한 샘플 반사율 |
0.1%-100% |
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측정 시간 |
<5초 (PSI 모드) |
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분석 기능 |
분석 기능 |
3D 높이 측정, 3D 거칠기 분석, 2D 치수 측정 |
3D 데이터 출력 |
3D 포인트 클라우드 데이터, 그레이스케일 이미지 데이터, 사용자 정의 보고서 |
목경 배율 |
2.5X |
5x |
10x |
20x |
50x |
100x |
숫자 열도 |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
광학 해상도 @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
초점 깊이 (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
작동 거리 (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
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