Reaktyvioji jonų ėsdinimo sistema
Profesionaliai teikite klientams pritaikytus sprendimus
Dviejų kamerų RIE (Cl₂) pritaikymas
2024 m. vasario mėn. gavome kliento užklausą dėl 100 mm plokštelės chloro proceso.
Tai mums įdomus pritaikymas, nes reikiamose technologinėse dujose yra nuodingų dujų Cl2 ir BCl3. Turime patobulinti visas mašinos konfigūracijas, kad išvengtume saugos problemų, ir specialiai suprojektavome dviejų kamerų proceso kameros ir perdavimo kameros struktūrą, kad puikiai apsaugotume operatorių ir atitiktume proceso reikalavimus.
Po maždaug 5 mėnesių projektavimo ir gamybos įmonės vidinėje laboratorijoje atlikome daugybinius mėginių bandymus ir gamybos modeliavimus, o gavę užsakovo priėmimą greitai pristatėme įrangą.
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Autoriaus teisės © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Visos teisės saugomos
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NE
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
