Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

Pagrindinis
Apie mus
MH įranga
Sprendimas
Užjūrio vartotojai
Video
Kontaktai
Pagrindinis puslapis> Priekinis procesas

Dviejų kamerų RIE (Cl₂) pritaikymas

Laikas: 2024-11-08

Reaktyvioji jonų ėsdinimo sistema

Profesionaliai teikite klientams pritaikytus sprendimus

Dviejų kamerų RIE (Cl₂) pritaikymas

2024 m. vasario mėn. gavome kliento užklausą dėl 100 mm plokštelės chloro proceso.

Tai mums įdomus pritaikymas, nes reikiamose technologinėse dujose yra nuodingų dujų Cl2 ir BCl3. Turime patobulinti visas mašinos konfigūracijas, kad išvengtume saugos problemų, ir specialiai suprojektavome dviejų kamerų proceso kameros ir perdavimo kameros struktūrą, kad puikiai apsaugotume operatorių ir atitiktume proceso reikalavimus.

Po maždaug 5 mėnesių projektavimo ir gamybos įmonės vidinėje laboratorijoje atlikome daugybinius mėginių bandymus ir gamybos modeliavimus, o gavę užsakovo priėmimą greitai pristatėme įrangą.

RIE.jpg

RIE1_02.jpgRIE1_07.jpgRIE1_10.jpgRIE2_03.jpg

RIE打包1.jpgRIE打包2.jpg

tyrimas El.pašto adresas WhatsApp WeChat
viršus