Apakah kegunaan ketuhar pantas dalam proses pembuatan wafer?

Furnes annealing pantas menggunakan lampu halogen inframerah sebagai sumber haba untuk memanaskan bahan kepada suhu yang diperlukan melalui pemanasan pantas, dengan tujuan untuk meningkatkan struktur kristal dan sifat optoelektronik bahan.

Ciri-cirinya termasuk kecekapan tinggi, penghematan tenaga, tahap automatik yang tinggi dan pemanasan seragam.

Selain itu, ketel penyerap pantas juga mempunyai kejituan kawalan suhu yang tinggi dan seragam suhu, yang boleh memenuhi keperluan pelbagai proses kompleks.

Ketel penyerap pantas menggunakan sistem kawalan mikrokomputer terkini, bersama dengan teknologi kawalan suhu tertutup PID, untuk memastikan kejituan kawalan suhu yang tinggi dan seragam suhu.

Kadar pemanasan yang sangat pantas dicapai melalui sumber haba cekap seperti lampu inframerah halogen, dan keping diperkasakan dengan cepat kepada suhu yang ditetapkan, untuk mengeluarkan beberapa kecacatan dalam keping dan meningkatkan struktur kristal dan sifat optoelektroniknya.

Kawalan suhu tepat ini sangat penting kepada kualiti keping dan boleh meningkatkan prestasi dan kebolehpercayaan keping secara berkesan.

Dalam proses pembuatan keping, penggunaan ketel penyerap pantas termasuk tetapi tidak terhad kepada aspek-aspek berikut:

1. Pengoptimuman struktur kristal: suhu tinggi membantu kepada pengatur semula struktur kristal, mengeluarkan kecacatan kisi dan meningkatkan susunan kristal, dengan itu memperbaiki konduktiviti elektronik bahan semikonduktor.

2. Pengeluaran kekotoran: annealing pantas RTP pada suhu tinggi boleh mempromosikan penyebaran kekotoran daripada kristal semikonduktor dan mengurangkan kepekatan kekotoran.

Ini membantu memperbaiki sifat elektronik peranti semikonduktor dan mengurangkan tahap tenaga atau serakan elektron yang disebabkan oleh kekotoran.

3. Pengeluaran substrat: dalam proses CMOS, ketuhar pantas boleh digunakan untuk mengeluarkan bahan substrat, seperti oksida silikon atau nitrida silikon, untuk membentuk peranti SOI (insulator pada silikon) yang sangat nipis.