De wijdverbreide toepassing van plasmareinigingsmachines in de halfgeleiderindustrie Nederland

De toepassing van plasmareinigingsmachines in de halfgeleiderindustrie is zeer uitgebreid, wat vooral tot uiting komt in de volgende aspecten:

▘Oppervlakte-activeringreiniging: Voor oppervlakte-activeringreiniging van wafers, IC-chips, halfgeleidersiliciumwafers, enz. heeft plasmareinigingstechnologie de functie om oxidefilms, organische stoffen, maskers, enz. van het waferoppervlak te verwijderen, de behandeling en oppervlakte-activering te zuiveren en virtuele soldeerverschijnselen te voorkomen.

▘Post-verpakkingsverwerking: Nadat de chipverpakking is voltooid, wordt het verpakkingsmateriaal gereinigd om lasresten en verontreinigingen te verwijderen die tijdens het verpakkingsproces zijn gegenereerd, waardoor de productkwaliteit wordt gewaarborgd. Plasmareinigingsmachines kunnen een vervuilingsvrije behandeling bereiken en tegelijkertijd het gebruik van schadelijke oplosmiddelen vermijden die schadelijk kunnen zijn voor de menselijke gezondheid.

▘Fotoresistresten verwijderen: Gebruikt in het fotolithografieproces van halfgeleiderproductie om het patroon van apparatuur te definiëren. Nadat de lithografie is voltooid, kan de plasmareinigingsmachine snel en grondig fotoresistresten verwijderen om de nauwkeurigheid van het patroon en de betrouwbaarheid van de apparatuur te garanderen.

▘Voorbehandeling van filmdepositie: Tijdens het filmdepositieproces moet het oppervlak zeer schoon worden gehouden om de hechting en uniformiteit van de film te garanderen. Plasmareiniging kan effectief verontreinigende stoffen en residuen verwijderen vóór depositie, waardoor de kwaliteit van dunne films wordt verbeterd.

▘Oppervlaktemodificatie: Plasmabehandeling wordt niet alleen gebruikt voor reiniging, maar kan ook oppervlaktemodificatie bereiken. Door de gassamenstelling en verwerkingsparameters aan te passen, kan plasmatechnologie de hydrofiliteit of hydrofobiciteit van materialen verbeteren en de prestaties en stabiliteit van apparaten verbeteren.

▘ Verbeter de hechting: Plasmareinigingsmachines kunnen worden gebruikt om verpakkingsmaterialen, zoals kunststoffen, keramiek, enz., te reinigen om de hechting en betrouwbaarheid van verpakkingsmaterialen te verbeteren; Verbeter de hechtingsprestaties tussen korrel en geleidende lijmpad, de infiltratieprestaties van soldeerpasta, verbeter de hechtspanning van draden en verbeter de betrouwbaarheid van verpakte apparaten.