Projeto |
Conteúdo |
Tipo de Produto |
6", 8", 12" quadro wafer |
itens de Inspeção 2D |
Objetos estranhos, resíduo de cola, partículas, riscos, trincas, contaminação, desvio CP, área excessiva, etc Desvio do canal de corte e fragmentação |
Itens de Inspeção de Trajeto de Corte |
6", 8", 12" frame cassette |
Lente e Resolução |
2x(2.75um)/3.5x(1.57um)/ 5x(1.1um)/7.5x(0.73um)/10x(0.55um) |
Precisão |
0.55μm/pixel |
Opcional e Personalizado |
Módulo INK, Módulo IR |
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