Tamanho do disco
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4”~ 8” wafer
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Espessura do disco
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100~750 microns
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Tipo de disco
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Si, SiC, GaN, ou outros materiais
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Tipo de filme
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Filme azul, filme UV
Largura: 230 ~ 300 mm Comprimento: 100 m Espessura: 0,05 ~ 0,2 mm |
Anel portador de wafer
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6”, 8” DISCO
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Método de carregamento e descarregamento
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Colocação e remoção manual de wafer/anel portador
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Precisão de posicionamento do filme
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± 0,5 mm
Placas padrão para wafers de 6” e 8” para wafers de 6” e 8” |
Bomba de Vácuo
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Minder-Hightech
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Controle antiestático
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Ventilador de deionização
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unidade de controlo
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Baseado no controle PLC, com tela sensível ao toque de 10"
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Proteção de segurança
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Configurado com proteção de cortina de luz e botão de parada de emergência
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tensão de alimentação
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Monofásico AC 220V, 16A
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Ar Comprimido
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0,45~0,6MPa, vazão de 70L/min
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Carcasa da máquina
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Carcasa metálica spray plástica branca
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Volume
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850mm (largura)*1750mm (profundidade)*1970mm (altura)
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Peso líquido
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480kg
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