Bolacha moível |
Tamanho |
Polegadas |
4,5,6,8 |
Cassete de wafer |
Sessão |
- |
2 |
Esfregando caminho |
- |
Método de retificação por imersão vertical |
|
Eixo da roda de moagem |
Tipos |
- |
Rolamentos de ar |
Qtd. |
- |
2 |
|
Velocidade |
rpm |
0 5000 ~ |
|
potência de saída |
Kw |
5.5/7.5 |
|
golpe |
mm |
150 |
|
Velocidade de alimentação |
hum/s |
0.01 100 ~ |
|
Velocidade de avanço rápido |
mm / min |
300 |
|
Resolução |
um |
0.1 |
|
Eixo da peça de trabalho |
Formato |
- |
Rolamentos de esferas |
Qtd. |
- |
3 |
|
Tipo de ventosa |
- |
Cerâmica microporosa |
|
Método de sucção de wafer |
- |
Adsorção a vácuo |
|
Velocidade |
rpm |
0 300 ~ |
|
Transferência de wafer |
- |
Braço robótico |
|
- |
Disco giratório |
||
Outras funções |
Centralização de wafer |
- |
Alinhamento de pinos móveis |
Limpeza de wafer |
- |
Limpeza com água e ar, centrifugação |
|
Limpeza de ventosas |
- |
Limpeza de pedra oleosa |
|
Rebolo |
mm |
Φ200 |
|
Online medição |
Escala de medição |
um |
0 1800 ~ |
Resolução |
um |
0.1 |
|
Repita precisão |
um |
± 0.5 |
|
Usinagem precisão |
Precisão intra-wafer (TTV) |
um |
≤ 2 |
Precisão entre wafers (WTW) |
um |
± 3 |
|
Rugosidade da superfície (Ry) |
um |
0.13(2000#final) |
|
Aparência |
Coloração de aparência |
um |
Padrão Laranja |
Dimensões (L × P × A) |
mm |
1200 × 2750 × 1950 |
|
Peso |
kg |
4200 |
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