Lâmina para usinagem |
Tamanho |
Polegadas |
4,5,6,8 |
Cassetes de wafer |
Número |
- |
2 |
Método de polimento |
- |
Método de afiação vertical por imersão |
|
Eixo do disco de afiação |
Tipos |
- |
Mancais de ar |
Quantidade |
- |
2 |
|
Velocidade |
rpm |
0~5000 |
|
Potência de Saída |
KW |
5.5/7.5 |
|
Curso |
mm |
150 |
|
Velocidade de alimentação |
um/s |
0,01~100 |
|
Velocidade de avanço rápido |
mm/min |
300 |
|
Resolução |
um |
0.1 |
|
Eixo do peça de trabalho |
Tipo |
- |
Rolamentos de bola |
Quantidade |
- |
3 |
|
Tipo de ventosa |
- |
Cerâmica microporosa |
|
Método de sucção do disco |
- |
Sucção por vácuo |
|
Velocidade |
rpm |
0~300 |
|
Transferência de disco |
- |
Braço Robótico |
|
- |
Disco giratório |
||
Outras funções |
Centralização do disco |
- |
Alinhamento de pinos móveis |
Limpeza de disco |
- |
Limpeza com água e ar, secagem por rotação |
|
Limpeza da ventosa |
- |
Limpeza da pedra de amolar |
|
REBOCO DE ESMERILHAR |
mm |
φ200 |
|
ONLINE medição |
Intervalo de Medição |
um |
0~1800 |
Resolução |
um |
0.1 |
|
Precisão de repetição |
um |
±0,5 |
|
Máquinas de mecanização precisão |
Precisão intra-wafer (TTV) |
um |
≤2 |
Precisão inter-wafer (WTW) |
um |
± 3 |
|
Rugosidade da superfície (Ry) |
um |
0.13(2000# acabamento) |
|
Aparência |
Coloração da aparência |
um |
Padrão Laranja |
Dimensões(W×D×H) |
mm |
1200×2750×1950 |
|
Peso |
kg |
4200 |
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