Modelo |
MDTS-WT2200 |
Número de eixos de desbaste |
2 |
Número de bancadas de trabalho |
3, Método de índice |
Eixo da roda de moagem |
Número de fusos de ar: 2 Motor do fuso: motor de frequência variável de 7.5 kW Velocidade: 0~6000rpm, ajustável continuamente Especificação da roda de moagem: Φ203mm Tipo de rebolo: rebolo diamantado |
Sistema de alimentação de rebolo |
Quantidade: 2 conjuntos Método de controle do sistema de alimentação: trilho guia LM e parafuso de esfera combinação Motor de acionamento: servomotor Velocidade mínima de alimentação: 0.1um/seg Velocidade máxima de alimentação: 50 mm/seg |
Workbench |
Quantidade: 3, Modo de índice Motor do fuso: Servo motor Velocidade: 0~300rpm, ajustável continuamente Método de adsorção: Adsorção a vácuo |
Mesa giratória de bancada |
Modo de acionamento: servo motor Faixa de rotação: 0~240° Forma de posicionamento: posicionamento assistido por sensor |
Espessura automática sistema de medida |
Método de medição: IPG contato online medição em tempo real Número de cabeças de medição: 2 Sensor de medição: sensor de nível de 0.1um |
Carregamento automático/ sistema de descarga |
Tipo de caixa: Cassete de 6-8 polegadas, 25 camadas Método de carga/descarga automática: o manipulador de wafer é usado para garantir que os wafers finos sejam transportados sem danos Espessura da pastilha: 150um-1000um |
Função de limpeza de bancada |
Método de limpeza: polimento de pedra de óleo e lavagem de dois fluidos com água DI + ar |
Limpeza automática/ sistema de secagem |
Limpeza: Limpeza do bico DIW Método de secagem: Sopro + secagem Velocidade: máx. 1000 rpm ajustável continuamente |
Sistema de eliminação estática |
Ventilador de barra de íons Orion |
Resfriador de fuso |
Temperatura: 18-22 ° C Taxa de fluxo: 4 ~ 8L/min |
Sistema de controle |
Sistema de controle: sistema de controle de PC, tela sensível ao toque, luz de alarme de 3 cores Interface homem-máquina em chinês/inglês |
Tamanho máximo do wafer |
Máximo compatível com 8 polegadas |
Faixa de velocidade |
0 ~ 6000 RPM |
Curso do eixo Z |
160mm |
Velocidade de avanço do eixo Z |
0.1~100um/seg |
Velocidade de retração rápida do eixo Z |
50mm / seg |
Resolução do eixo Z |
0.1um |
Faixa de medição de espessura online |
0 ~ 1800um |
Resolução de medição de espessura online |
0.1um |
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