Modelo |
MDTS-WT2200 |
Número de eixos de rarefação |
2 |
Número de bancadas de trabalho |
3, Método de indexação |
Eixo do disco de afiação |
Número de fusos pneumáticos: 2 Motor do fuso: motor de frequência variável de 7,5kW Velocidade: 0~6000rpm, ajustável continuamente Especificação da roda abrasiva: Φ203mm Tipo de roda abrasiva: roda abrasiva de diamante |
Sistema de alimentação da roda abrasiva |
Quantidade: 2 conjuntos Método de controle do sistema de alimentação: trilho LM e parafuso de bola combinação Motor de tração: motor de servo Velocidade mínima de alimentação: 0,1um/sec Velocidade máxima de alimentação: 50mm/sec |
BANCADA |
Quantidade: 3, modo de indexação Motor da mandril: Motor de servo Velocidade: 0~300rpm, ajustável continuamente Método de adsorção: adsorção por vácuo |
Mesa de trabalho giratória |
Modo de tração: motor de servo Faixa de rotação: 0~240° Forma de posicionamento: posicionamento assistido por sensor |
Espessura automática Sistema de medição |
Método de medição: medição online em tempo real por contato IPG Número de cabeças de medição: 2 Sensor de medição: sensor de nível de 0,1um |
Carregamento automático/ sistema de descarregamento |
Tipo de caixa: Cassette de 6-8 polegadas, 25 camadas Método de carregamento/descarregamento automático: utilização de manipulador de wafer para garantir que wafers finos sejam transportados sem danos Espessura do disco: 150um-1000um |
Função de limpeza da bancada |
Método de limpeza: polimento com pedra de óleo e enxágue com dois fluidos de água DI + ar |
Limpeza automática Sistema de secagem |
Limpeza: limpeza com bico de água DI Método de secagem: soprando + secando Velocidade: ajustável continuamente até 1000rpm |
Sistema de Eliminação Estática |
Barra iônica ou ventilador orion |
Resfriador de eixo |
Temperatura: 18-22°C Vazão: 4~8L/min |
Sistema de Controle |
Sistema de controle: sistema de controle PC, tela sensível ao toque com luz de alarme de 3 cores Interface homem-máquina em chinês/inglês |
Tamanho máximo de wafer |
Compatível com até 8 polegadas |
Faixa de velocidade |
0~6000 RPM |
Viagem do eixo Z |
160mm |
Velocidade de alimentação no eixo Z |
0,1~100um/sec |
Velocidade de retratação rápida do eixo Z |
50mm/sec |
Resolução do eixo Z |
0.1um |
Faixa de medição de espessura online |
0~1800um |
Resolução de medição de espessura online |
0.1um |
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