Projeto
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Conteúdo
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Tipo de Produto
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6", 8", 12" quadro wafer
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itens de Inspeção 2D
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Objetos estranhos, resíduo de cola, partículas, riscos, trincas, contaminação, desvio CP, área excessiva, etc
Desvio do canal de corte e fragmentação |
Itens de Inspeção de Trajeto de Corte
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6", 8", 12" frame cassette
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Lente e Resolução
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2x(2.75um)/3.5x(1.57um)/
5x(1.1um)/7.5x(0.73um)/10x(0.55um) |
Precisão
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0.55μm/pixel
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Opcional e Personalizado
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Módulo INK, Módulo IR
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