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Descrição do Produto

MD-SPV100 Tratamento de superfície de plasma a vácuo

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Vantagens da limpeza a plasma a vácuo

A limpeza a plasma é um importante método de modificação de superfícies de materiais e tem sido amplamente utilizado em muitos campos.
E alguns métodos de limpeza tradicionais, como limpeza ultrassônica, limpeza UV, etc., têm as seguintes vantagens:
（A） Baixa temperatura de processamento
A temperatura de processamento pode ser tão baixa quanto 80°C - 50°C. As baixas temperaturas de processamento garantem que não haja efeitos térmicos na superfície da amostra.
（B）Sem poluição durante todo o processo
O limpador de plasma em si é um dispositivo muito ecológico que não causa poluição e não causa poluição durante o processo de tratamento.
（C）Efeito de processamento estável
O efeito do tratamento da limpeza do plasma é muito uniforme e estável, e o efeito de manutenção da amostra após um longo período de tempo é bom.
（D）Pode lidar com amostras de vários formatos
Para amostras de formatos complexos, a limpeza por plasma pode ser a solução certa.

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Parte da amostra

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Especificação

Unidade hospedeira de plasma a vácuo (100)
Tamanho do equipamento	C 1000×L 900×A 1750mm
peso	500Kg
Fonte de alimentação de demanda	AC380V, 50 / 60Hz, 5 linhas, 25A (tipo aberto total acima de C)
Especificação do gerador de plasma
poder	frequência de rádio	freqüência intermediária
		0 ~ 600W	0-1000W
frequência de alimentação	13.56MHz	40KHz
Sistema de vácuo
bomba de vácuo	Bomba rotativa de sobrevoo (bomba de óleo): 60 m3/h
tubulação de vácuo	Toda linha de aço inoxidável, bem como foles de vácuo de alta resistência
qualidade do material	alufer
espessura	25mm
aperto	Selo de soldagem de nível militar
Dimensões internas da cavidade	450450500mm （Largura * alta * profundidade）
Tamanho efetivo da placa elétrica	322351mm (largura profundidade)
Espaçamento de espaço disponível	20mm
Arranjo de galvanização	Placa de eletrodo horizontal
bandejas	Conjunto padrão, material opcional (alumínio, malha de arame de aço)
área de trabalho	camada 8
gás de processo
Faixa de fluxo	0~300SCCM
Rota de gás de processo	Padrão com duas vias, pode ser personalizado. O gasoduto de processo é feito de ferroflon
navegar
SC	PLC
modo interativo	Tela sensível ao toque de 7 polegadas

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Aplicações

Embalagem e entrega

Perfil

Temos 16 anos de experiência em vendas de equipamentos. Podemos fornecer a você uma solução completa de equipamentos de linha de pacotes de front-end e back-end de semicondutores da China!