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Descrição do Produto

MD-SPV100 Tratador de superfície a plasma em vácuo

MD-SPV100 Vacuum Plasma Surface Treatment Machine Plasma Cleaning Processor Plasma Cleaner supplier

Vantagens da limpeza a plasma em vácuo

A limpeza a plasma é um método importante de modificação de superfície de materiais e tem sido amplamente utilizada em muitos campos.
E alguns métodos tradicionais de limpeza, como limpeza ultrassônica, limpeza UV, etc., têm as seguintes vantagens:
(A) Baixa temperatura de processamento
A temperatura de processamento pode ser tão baixa quanto 80 °C - 50 °C. As baixas temperaturas de processamento garantem que não haja efeitos térmicos na superfície da amostra.
(B) Sem poluição durante todo o processo
O próprio limpador a plasma é um dispositivo muito amigo do meio ambiente, que não causa qualquer tipo de poluição, nem durante o processo de tratamento.
(C) Efeito de processamento estável
O efeito da limpeza a plasma é muito uniforme e estável, e o efeito de manutenção da amostra após um longo período de tempo é bom.
(D) Pode tratar amostras de várias formas
Para amostras de formas complexas, a limpeza a plasma pode encontrar a solução adequada.

MD-SPV100 Vacuum Plasma Surface Treatment Machine Plasma Cleaning Processor Plasma Cleaner manufacture

Parte da Amostra

MD-SPV100 Vacuum Plasma Surface Treatment Machine Plasma Cleaning Processor Plasma Cleaner factory

Especificações

Unidade principal de plasma em vácuo (100)
Tamanho do Equipamento	L 1000×W 900×H 1750mm
peso	500kg
Fornecimento de energia sob demanda	AC380V, 50/60Hz, 5 fios, 25A (tipo aberto total acima de C)
Especificações do gerador de plasma
poder	frequência de Rádio	frequência intermediária
		0~600W	0-1000W
frequência de fornecimento	13,56 MHz	40 K Hz
Sistema de vácuo
bomba de Vácuo	Bomba rotativa de vácuo (bomba de óleo): 60 m3/h
linha de vácuo	Linha totalmente de aço inoxidável, bem como mangueiras de vácuo de alta resistência
qualidade do Material	alufer
espessura	25mm
hermeticidade	Selagem por solda de grau militar
Dimensões internas da cavidade	450450500mm（Largura* altura * profundidade）
Tamanho efetivo da placa elétrica	322351mm (largura profundidade)
Espaçamento do espaço disponível	20mm
Arranjo de eletrodo	Placa de eletrodo horizontal
bandejas	Conjunto padrão, material opcional (alumínio, malha de aço)
espaço de Trabalho	8 camadas
gás de processo
Faixa de fluxo	0~300SCCM
Rota do gás de processo	Padrão com duas vias, pode ser personalizado. O gasoduto de gás de processo é feito de ferroflon
navar
SC	PLC
modo interativo	tela Tátil de 7 polegadas

Visão da Fábrica

Aplicações

Embalagem e Entrega

Perfil da Empresa

Temos 16 anos de experiência em vendas de equipamentos. Podemos fornecer a você uma solução completa para equipamentos de linha de embalagem de semicondutores, tanto no frontend quanto no backend, da China!